1998 Fiscal Year Annual Research Report
光電界電離過程を利用した新しい広帯域波長可変X線コヒーレント光の発生
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09450033
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| Research Institution | Miyazaki University |
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Principal Investigator |
佐々木 亘 宮崎大学, 工学部, 教授 (30081300)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
河仲 準二 宮崎大学, 工学部, 助手 (50264362)
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| Keywords | 軟X線 / コヒーレント光 / 多価イオン / 超短パルスレーザー / 光電界電離法 |
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| Research Abstract |
平成10年度には下記の点を明らかにした。
(1) 長短パルス高出力レーザーシステムの高性能化
現有の長短パルス固体レーザーシステムに新たにレーザー用光学系を付加することで複数の光パルスを遅延発生させ遅延時間を数百〜数千フェムト秒で任意に変えることができるようにした。さらに、偏光板やレンズを組み入れることで任意の偏光状態や集光強度を得ることが各パルス毎にできるようになった。
(2) 多価イオン生成に関する基礎データの取得
多価イオン生成を長短パルスレーザーによる光電界電離法により行った。理論的に予想される多価イオンの価数、また自由電子のエネルギー分布と、前述のレーザーを用いて種々の変更状態やレーザー強度を変化させたときの実験値とを比較した結果、大部分において良い一致が得られたため、コヒーレントX線発生のための多機能光源の開発の確認および基礎データの取得が可能となった。
(3) 高強度レーザー照射による軟X線を測定した。照射ターゲットおよびレーザー光条件の変更により数nm〜数十nmの軟X線を発生することに成功した。コヒーレント光は得られなかったものの微小体積内に高密度の多価イオンを生成することに成功したため、本方式の技術的な改良によりコヒーレント軟X線を発生させる可能性が高いことを示した。
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[Publications] S.Kubodera 他: "Kr excimers produced by soft x rays emitted from a laser-produced plasma" Applied Physics Letters. 73巻、11号. 1463-1465 (1998)
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[Publications] 河仲 準二 他: "放電励起希ガスエキシマレーザーの基礎過程" レーザー学会研究会報告 レーザー応用. RTM-98-41. 35-40 (1998)
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[Publications] Wataru Sasaki 他: "The state of the art of rare gas excimer lasers and lamps as a light source for giga-bit lithography" J.Photopolymer Sci.Tech.11巻、2号. 361-366 (1998)
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[Publications] Junji Kawanaka: "A1.5 kw high peak power and 140 ns short pulse krypton excimer lamp using a pulsed silent-discharge" Proceedings of SPIE. 3574巻. 466-469 (1998)
