1997 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロテクスチャ面の形成技術とその界面機能評価に関する基礎研究
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09450058
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| Research Institution | Niigata University |
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Principal Investigator |
桝田 正美 新潟大学, 大学院・自然科学研究科, 教授 (10283003)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
長縄 明大 新潟大学, 大学院・自然科学研究科, 助手 (70271872)
新田 勇 新潟大学, 大学院・自然科学研究科, 助教授 (30159082)
横山 和宏 新潟大学, 大学院・自然科学研究科, 助教授 (00018673)
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| Keywords | 微細加工 / ダイヤモンド工具 / テクスチャ面 / 可視化技術 / 低粘土流体 / バリ |
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| Research Abstract |
高機能微細凹凸表面の創製を目的として、ミクロン以下の一定の振幅・微細形状をもった規準マイクロテクスチャ面を高精度に形成する技術、およびこの表面の機能評価・最高化技術について、基礎研究を進めている。そのうち平成9年度では、下記2項目について研究を行った。
[1]平面への微細凹凸形状形成技術:硬さや伸びの異なる各種材質に対して、サブミクロン深さの溝・圧痕の加工実験を行い、
1.弾性回復量を考慮した荷重制御塑性加工を主にした溝・圧痕形成手法により、深さ精度・ピッチ精度の良好な規準テクスチャ面が得られること、
2.工具・ワーク間の摩擦係数により形成される溝・圧痕・バリの形状が異なること。特に潤滑油を用いた加工では、介在する暑さ0.05-0.10μmの油膜の影響が顕著なこと、等が明らかになった。
[2]静止した2平面間のリ-ク(にじみ)現象の可視化技術;上記の規準マイクロテクスチャ面と完全平面との間のサブミクロン間隙において、低粘度流体のリ-ク減少を評価できる可視化装置を試作し、現在評価中である。本装置の特徴は下記の通り。
1.浸入する流体がつくる薄膜面でレーザーの反射光が偏光する特性を利用して、その偏光解析を行うことにより、リ-ク速度を検出できること。
2.高粘度流体を用いた高圧発生源から、弾性媒体を介して、低粘土高圧流体を精度良く安定して供給できること。
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