1998 Fiscal Year Annual Research Report
磁気・電子・光学部品ガラスのサブナノメータ加工システムと多目的加工機械の創作研究
Project/Area Number |
09555036
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Research Institution | Ibaraki University |
Principal Investigator |
江田 弘 茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山本 佳男 東海大学, 工学部, 助教授 (20272114)
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Keywords | ガラス材料 / 多目的加工機械 / 磁気・電子・光学部品 / 延性モード加工 / 微小塑性領域 / 研削 / 研磨 / 微小引っかき実験 |
Research Abstract |
従来、複数の工作機械により行われていた磁気・電子・光学部品ガラス加工のコスト削減、生産性向上を図るため、研削(ナノメータオーダ)から研磨(サブナノメータ)までを、一台の機械で対応できる研削-研磨融合加工機械を開廃する。 平成10年度は 〔I〕ガラス材料の延性モード加工条件の一般化 〔II〕ガラス材料の研削・研磨融合多目的加工機械の開発 を行った。以下、研究成果を記述する。 〔I〕では、既に装備されている研削・研磨加工装置を使用して各供試ガラスの超精密研削実験を行い、臨界微小塑性深さd_<GC>を割り出し、それと硬度との関係を明らかにした。さらに、そこで得られた結果と、各供試ガラスについて平成9年度の電子顕微鏡内の引っかき実験から割り出した臨界微小塑性深さd_<SC>との関係を明らかにし、その関係式を求めた。それらの成果は、精密工学会誌(64巻,4号,pp.613-617)、およびInt.J.JSPE(32巻,2号,pp.98-103)に掲載されている。加えて、実験装置について、国際会議ECCM-8(ナポリ)にて発表した。研磨における加工条件については、既に開発されているプレストンの式に従う研磨装置上で、弾性砥石を用いた加工実験から割り出した。 〔II〕では、ガラスの研削・研磨融合多目的加工機械を設計・制作するとともに、機械の制御システムとソフト開発の創作開発、標準化を行った。開発した装置は、工具の回転軸に、駆動モータビルドイン型のエアベアリングスピンドルを採用し、切込みや送り、工具軸の回転数などの制御はNC制御装置により行うようになっている。工具軸は、40,000rpm以上の高速回転が可能である。
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[Publications] 江田 弘,L.Chouanine,清水 淳: "ガラス引っかき過程の延性発現の検証-鋭利なダイヤモンド圧子を用いた場合-" 精密工学会誌. 64・4. 613-617 (1998)
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[Publications] L.Chouanine,H.Eda and J.Shimizu: "Development of Key-Technology on the State-of-the-Art Machine Tool and Generalization of Grinding Forces under Ductile Mode Grinding Experiments" Journal of Japan Society of Precision Engineering. 32・2. 98-103 (1998)
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[Publications] H.Eda: "Computer Simulation in Abrasive Grinding Process(Review)" Journal of Japan Society of Precision Engineering. 32・4. 233-238 (1998)
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[Publications] J.Shimizu,H.Eda,M.Yoritsune and E.Ohmura: "Molecular Dynamics Simulation of Friction on the Atomic Scale" Nanotechnology. 9・2. 118-123 (1998)
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[Publications] Y.Tomita,H.Eda and J.Shimizu: "A Study of Physical and Structural Features of High Porous Resin Bonded Grinding Stone" Proceedings of ECCM-8,Italy,Woodhead Publishing Limited,vol.3. 365-372 (1998)
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[Publications] H.Eda,Y.Yamamoto Y.Tomita and J.Shimizu: "Giant Magnetostriction Composite Materials and Its Applications to an Actuator" Proceedings of ECCM-8,Italy,Woodhead Publishing Limited,vol.3. 549-556 (1998)
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[Publications] 江田 弘(兼編集)他多数: "生産加工の原理" 日本機械学会編(日刊工業新聞社), 369 (1998)
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[Publications] 江田 弘(研究代表者): "広帯域ダイナミカルシステム適用の超磁歪材料の創成に関する研究" 科学研究費基盤研究(C)(2)(08650126),研究成果報告書, 120 (1998)