1999 Fiscal Year Annual Research Report

磁気・電子・光学部品ガラスのサブナノメータ加工システムと多目的加工機械の創作研究

Research Project

Project/Area Number	09555036
Research Institution	Ibaraki University
Principal Investigator	江田弘茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	山本佳男東海大学, 工学部, 助教授 (20272114)
Keywords	ガラス材料 / 多目的加工機械 / 磁気・電子・光学部品 / 延性モード加工 / 微小塑性領域 / 研削 / 研磨 / 微小引っかき実験
Research Abstract	従来、複数の工作機械により行われていた磁気・電子・光学部品ガラス加工の加工工程簡略によるコスト削減、および生産性向上を図るため、研削(ナノメータオーダ)から研磨(サブナノメータ)までを、一台の機械で対応できる研削-研磨融合加工機械システムの開発する。そこでは延性モード加工条件を一般化すると同時に、ガラスのナノメータオーダ表面精度の加工条件の割り出しを図る。平成11年度は〔I〕開発加工機械による各供試ガラス材料のサブnm寸法精度加工〔II〕国際会議等における研究成果報告〔III〕平成9〜11年度における研究成果の総括を行った。以下、研究成果を記述する。〔I〕では、既設備の多目的加工装置を使用し、平成10年度年度に明らかにした各供試ガラスの延性モード加工条件を考慮しながら超精密研削実験を行い、表面寸法精度サブnm精度を達成した。さらに、弾性砥石を用いた研削・研磨融合システムによる供試ガラスの超精密仕上げ加工を行った。研究成果の一部はJournal of the Balkan Tribological Association(5巻,2号,pp.95-104)に掲載されている。〔II〕では、平成10年度に開発済みの加工システムと、同じく平成10年度に評価されたガラスの延性モード引っかきおよび研削条件の一般化の結果を主体に、国内諸学会および国際会議(1.EUSPEN'99,Germany,2.ICOSN'99,Yokohama,3.ICPE-9,Osaka)等にて研究成果の公表を行った。〔III〕では、平成9〜11年度における研究成果をまとめ、報告書を作成した。

Research Products
(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] H.Eda,H.Hamada,Y.Tomita and Y.Yamamoto: "Study on Super-Fine Diamond Cluster with Application to Ultra-Precision Surface Generation"Journal of the Balkan Tribological Association. 5・2. 94-104 (1999)
[Publications] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of System and Key-Components for Ductile Mode Grinding"Proceedings of Int.Conf.Proc.EUSPEN'99,Germany. 222-225 (1999)
[Publications] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of State-of-Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 344-347 (1999)
[Publications] H.Eda,J.Shimizu and L.Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 420-423 (1999)
[Publications] H.Eda,J.Shimizu,L.Zhou,Y.Takimoto and A.Muroya: "Giant Magnetostrictive Positioner for Single Diamond Turning of Silicon Substrate"Proceedings of Int.Conf.ICPE-9,Osaka. 187-192 (1999)
[Publications] H.Eda,Y.Yamamoto,T.Ishikawa,L.Zhou and T.Kawakami: "Design Concept and System Development of Machining Under a Scanning Electron Microscope"Proc.Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS,Santa Clara. 310-318 (1999)

1999 Fiscal Year Annual Research Report

磁気・電子・光学部品ガラスのサブナノメータ加工システムと多目的加工機械の創作研究

Principal Investigator

江田 弘 茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)

Research Products

[Publications] H.Eda,H.Hamada,Y.Tomita and Y.Yamamoto: "Study on Super-Fine Diamond Cluster with Application to Ultra-Precision Surface Generation"Journal of the Balkan Tribological Association. 5・2. 94-104 (1999)

[Publications] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of System and Key-Components for Ductile Mode Grinding"Proceedings of Int.Conf.Proc.EUSPEN'99,Germany. 222-225 (1999)

[Publications] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of State-of-Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 344-347 (1999)

[Publications] H.Eda,J.Shimizu and L.Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 420-423 (1999)

[Publications] H.Eda,J.Shimizu,L.Zhou,Y.Takimoto and A.Muroya: "Giant Magnetostrictive Positioner for Single Diamond Turning of Silicon Substrate"Proceedings of Int.Conf.ICPE-9,Osaka. 187-192 (1999)

[Publications] H.Eda,Y.Yamamoto,T.Ishikawa,L.Zhou and T.Kawakami: "Design Concept and System Development of Machining Under a Scanning Electron Microscope"Proc.Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS,Santa Clara. 310-318 (1999)

江田弘茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)