1998 Fiscal Year Annual Research Report
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09555079
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
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Principal Investigator |
遠山 茂樹 東京農工大学, 工学部, 教授 (20143381)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
和田 博 ダブル技研(株), 代表取締役研究職
橋本 隆美 Y. T. システム, 取締役社長研究職
永井 正夫 東京農工大学, 工学部, 教授 (10111634)
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| Keywords | 球面超音波モータ / 3自由度位置決め / レーザー光 / マイクロアクチュエータ |
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| Research Abstract |
本研究ではマイクロハンドリングミニロボットを開発する。本年度は球面超音波モータを用いた3自由度位置決めの開発に成功した。以下に成果をあげる。
1. 位置検出にはレーザー光を使用した位置検出装置を開発した。レーザー光をミラーにあて、その反射光をハーフミラーを介してPSDに取り入れ照射点を出力する。
2. φ60の平面型ステータ及び3自由度の位置決めステージを開発した。この3個のスーテタをある角度で傾けて等間隔に配置し、φ100半球ロータをのせ回転させた。ロータは3個のステータに1点で接触している。このとき、0.005°以下の角度差で3自由度に位置決めする事ができた。
3. 同じようにφ15のステータを開発した。φ20の半球ロータをのせ回転させた。このとき、0.01°以下の角度差で3自由度に位置決めする事ができた。
4. 同じようにφ8のステータを開発した。φ20の半球ロータをのせ回転させた。このとき、0.01°程度の角度差で3自由度に位置決めする事ができた。また、φ15のステータに比べ短い時間で位置決めができる。
以上より、基本的な3自由度位置決めステージは完成し、マイクロアクチュエータで3自由度の位置決めに成功した。
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