1999 Fiscal Year Annual Research Report
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09555079
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture & Technology |
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Principal Investigator |
遠山 茂樹 東京農工大学, 工学部, 教授 (20143381)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
和田 博 ダブル技研株式会社, 代表取締役 研究職・
橋本 隆美 Y, T・ システム, 取締役社長 研究職・
永井 正夫 東京農工大学, 工学部, 教授 (10111634)
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| Keywords | 球面超音波モータ / 3自由度位置決め / レーザー光 / マイクロアクチュエータ |
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| Research Abstract |
本研究でマイクロハンドリングロボットを開発した。これは回転3自由度をもつ球面超音波モータと高出力を持つサンドイッチ型の超音波モータからなる。回転3自由度を持つ球面超音波モータは、半球状のロータを円環状のステータ3枚からなる。各ステータ裏面には2相の圧電素子をはり、各相にかける交番電圧の位相と周波数を制御することでロータを任意の方向に回転させることができる。回転角度の検出には半球状のロータにミラーをおき、レーザの反射をPSDセンサーで検出する方法を用いた。さらに微小な位置決めには、生成される弾性波の波数を制御することで、1/1000度の精度を得ることができた。また、整定時間も+^-3度の範囲で2〜3ミリ秒の見通しがついた。さらに、半球状ロータに取り付けられたリンクには、1自由度のサンドイッチ型の超音波モータを取り付けた。これは円板状のロータを2枚のステータで挟みこんだモータであり、1枚のステータに比べ高出力が得られる。本マイクロロボットは高精度であり整定時間も短いため、バイオロボットや医用ロボットとして利用することができる。
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[Publications] 瀬川裕之 遠山茂樹: "超音波モータを用いた3自由度位置決めステージの開発"1998年度 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 476 (1998)
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[Publications] 小坂貴之 遠山茂樹: "小型超音波モータにおける櫛歯の挙動解析"1998年度 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 574 (1998)
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[Publications] E.Purwanto and S.TOYAMA: "Sub-micron level fine alignment system by using the ultrasonic spherical motor"Proc.of Tenth World Congress on TMM. vol.5. 1997-2002 (1999)
