高周波駆動マイクロプラズマ・ディスプレイパネルの開発

1997 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09555111
• Research Institution: Keio University
• Principal Investigator: 真壁 利明 慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (60095651)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 吉岡 俊博 NEC, ディスプレイデバイス研究部, 主任研究員 ; 中野 誠彦 慶應義塾大学, 理工学部, 助手 (40286638)
• Keywords: プラズマディスプレイパネル / マイクロプラズマセル / rfプラズマ / 体積(サイズ)効果 / RCTモデル

Research Abstract

現用機プラズマディスプレイパネルが内包する本質的な低効率とIC不整合性を、革新的にブレークスルーする全く新しい高周波駆動マイクロプラズマセルの開発を学術的モデリングを通して、提案し、続いて先端技術を駆使して、この新概念にもとづくプロトタイプPDPを制作することを目的とした。
本目的のもとで、今年度は、
(1)駆動周波数と励起効率の定量的把握;
申請者のオリジナル2次元RCTモデルを応用し、Xeの中で100kHz<f<100MHzの範囲で、2次元高周波プラズマ構造を明らかにした。
(2)駆動周波数とプラズマサイズ効果の理論化;
PDPが実用化された時代にあって、f-マイクロプラズマセル効果が未解明であり、至急の学術的課題であった。そこで、一次元プラズマリアクターにおいてすでに申請者が明らかにしたf-pd、Vsus-pd特性(pはガス圧力、dは電極間距離、Vsusはプラズマ維持電圧)をもとに2次元リアクターのサイズ効果をモデリングから調査した。その結果、マイクロセルでは平板電極内に高周波(13.56MHz)プラズマを維持することが難しいことを例証した。その上で、高周波マイクロプラズマを維持できる電極系を提案し、モデリングから具体像を明らかにした。

Research Products

• [Publications] M.Kurihara: "2D modelling of RF plasma in a micro-cell in Xe by using RCT model" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 326-365 (1998)
• [Publications] N.Nakano: "Modeling of dual frequency capacitively coupled plasma by two dimensional relaxation contimuum model" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 194-197 (1998)
• [Publications] M.Hasebe: "2D modeling of nonvolatile particle transport from etched surface in RIE" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 186-189 (1998)
• [Publications] R.Hashido: "Two-dimensional transport of submicton particles in capacitively coupled plasma reactor" Jpn.J.Appl.Phys.36・6A. 3707-3713 (1997)
• [Publications] M.Kurihara: "Electron transport in CF_4,Xe by using DNP of the Boltzmann equation" Bulletin of the American Phys.Soc.42・8. 1705- (1997)
• [Publications] 栗原 優: "RCTモデルによるXe,RFマイクロセルプラズマの2次元モデリング" 第45回春季応用物理学会予稿集. (1998)