1997 Fiscal Year Annual Research Report
水溶液からの新しい複合酸化物薄膜法の開発と膜内物質分布
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09555192
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| Research Institution | Kobe University |
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Principal Investigator |
出来 成人 神戸大学, 工学部, 教授 (10101065)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
水畑 穣 神戸大学, 工学部, 助手 (10283871)
梶並 昭彦 神戸大学, 工学部, 助手 (10169443)
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| Keywords | 液相析出法 / 金属酸化物薄膜 / 酸化チタン / 表面プラズモン / オキシ水酸化鉄 / 酸化ジルコニウム |
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| Research Abstract |
液相析出法による薄膜合成法により、Au/TiO_2等の金属超微粒子分散酸化物薄膜およびTiO_2/FeOOH/TiO_2等の酸化物積層体薄膜の合成を試み、その合成条件の最適化と得られた薄膜における物質分布について検討を行った。また、Zr系酸化物薄膜に調整法の確立に関する検討も行った。HAuCl_4水溶液を添加した反応溶液からAu含有TiO_2薄膜が得られた。析出直後の薄膜は無色であったが、熱処理により紫色に変色し、熱処理による金超微粒子の生成が示唆された。薄膜中の金含有量、すなわちAu/Ti比は反応溶液中に添加するHAuCl_4水溶液量によって制御可能であった。透過型電子顕微鏡観察により、直径10数nmの金微粒子が均一に分散していることが見られ、紫色の着色が600nm付近に吸収バンドをもつ金微粒子の表面プラズモン共鳴によるものであることが明らかとなった。また、一方、酸化物積層体であるTiO_2/FeOOH/TiO_2については明瞭な界面を持つ積層体が均一に形成されており、液相析出法による酸化物積層体の合成が可能であることが明らかとなった。XPS測定による深さ方向の定量分析により、界面付近においては両成分が存在しており、組成的傾斜を有していることが明らかとなった。一方、Zr酸化物薄膜については、析出後の焼成温度によって異なる結晶系の酸化物薄膜がえられる能性があることが示唆されており、現在検討中である。また走査型プローブ顕微鏡観察により、析出直後の薄膜は微細粒子で構成されていることが明らかとなった。この系については、現在継続検討中である。
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[Publications] 出来成人, 青井芳史: "液相析出(LPD)法による酸化物薄膜の合成" 科学と工業. 71・4. 122-126 (1997)
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[Publications] Shigehito Deki, Yoshifumi Aoi, Yasuhiro Asaoka, Akihiko Kajinami, and Minoru Mizuhata: "Monitoring the growth of titanium oxide thin films by the liquid-phase deposition method with a quartz microbalance" Journal of Materials Chemistry. 7・5. 733-736 (1997)
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[Publications] Shigehito Deki, Yoshifumi Aoi, Junko Okibe, Hiroshi Yanagimoto, Akihiko Kajinami, Minoru Mizuhata: "Preparation and characterization of iron oxyhydroxide and iron oxide thin films by liquid-phase deposition" Journal of Materials Chemistry. 7・9. 1762-1772 (1997)
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[Publications] S. Deki, Y,Aoi, and A. Kajinami: "A novel wet process for the preparation of vanadium dioxide thin film" Journal of Materials Chemistry. 32・16. 4269-4273 (1997)
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[Publications] 出来成人, 青井芳史: "液相析出法(LPD法:Liquid Phase Deposition)法による機能性薄膜材料の合成" 表面技術. 49・1. 30-34 (1998)
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[Publications] Shigehito Deki and Yoshifumi Aoi: "Synthesis of metal oxide thin films by liquid-phase deposition method" Journal of Materials Chemistry. 34・4(印刷中). (1998)
