1999 Fiscal Year Annual Research Report
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09555196
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| Research Institution | Shonan Institute of Technology,Faculty of Engineering |
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Principal Investigator |
藤津 悟 湘南工科大学, 工学部, 教授 (20165400)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
木枝 暢夫 湘南工科大学, 工学部, 助教授 (80169812)
真岩 宏司 湘南工科大学, 工学部, 講師 (50229283)
林 卓 湘南工科大学, 工学部, 教授 (70023265)
尾原 佳信 積水化成品工業株式会社, 総合研究所, センター長(研究職)
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| Keywords | 酸化亜鉛 / 圧電体 / 微細加工 / 電極 |
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| Research Abstract |
本研究ではLi添加により高抵抗化された透明性,c軸配向性を有する酸化亜鉛結晶に関して,その圧電特性を測定し,微細加工を駆使して新規実用材料への展開をはかることを目的とした.本年度の研究においては,特に以下の点に重点を置き以下の結果を得た.
1)作成された配向性酸化亜鉛に関し結晶軸方向を任意方向に接合した.表面仕上げ,温度および加圧条件を最適にすることにより良好に得ることが出来た.垂直方向接合では圧電トランス型の接合であり,電極をそれと同タイプに配置した.その結果,いわゆるフィルター特性が確認された.10MHzから100MHzという焼結体と薄膜との隙間部分を埋める圧電体としての有効性を確認するために機械的研削により50μmで60MHz共振までの試料を作成することができた.このとき電極を検討することにより減衰率-10dBm以下のフィルター特性をもつ試料を得ることができた.
2)Liを添加した酸化亜鉛配向性薄膜の合成をYAGレーザアブレーション法により行った.基板上に微細櫛型電極を装着し,そこに電場を加えることにより,基板に平行にC軸が配向した膜の作成を試みた.プラズマの衝突のより電極が破壊される問題が生じたが,アルミナでコーティングすることにより解決できる可能性が確認された.
3)酸化亜鉛に深く関連した成果として,酸化亜鉛焼結体をプレヒーターとする調理用電子レンジによる部分安定化ジルコニアの緻密体焼結プロセスを開発した.15分の運転により800MPaの曲げ強度を持つ試料を得ることができた.
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[Publications] S.Fujitsu et al,: "Change in the Oxidation Stale of the Adser bed Oxygen Equilibrated at 25℃ on 2n O Surface during Room Temperature"Jpn.J.Appl.Phys.. 38. 1534-1538 (1999)
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[Publications] S.Fujitsu et al,: "Joining of Piezoelectric zinc Oxide"Electro ceramics in Japan II. 61-65 (1999)
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[Publications] H.Mizoguchi et al: "Valence State of Bismuth in New Mired Valence Oxide B'_<1-x>Y_x O_<1.5+δ>"Mat.Res.Bull.. 34. 373-379 (1999)
