反応性亜臨界,超臨界炭酸ガスとオゾンによる低吸着性,低ガス放出性酸化膜の製作

1998 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09555220
• Research Institution: Miyagi National College of Technology
• Principal Investigator: 百瀬 丘 宮城工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (90006271)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 蓼沼 克嘉 (株)化研, 水戸研究所・高度技術開発部, 代表(研究職)
• Keywords: オゾン処理 / 超臨界炭酸ガス / 低ガス放出性酸化膜 / 低吸着性酸化膜

Research Abstract

本研究はオゾン処理の高い清浄効果と超臨界炭酸ガスの高い溶解度を適用し、超高真空用の低ガス放出率,低吸着性の表面を得ることを目的とする.
1) 昨(初)年度に続く超高真空用真空材料表面の洗浄効果調査
1-1) 昨年度,試料および流体を試験チェンバー内に一定時間蓄積し、処理をした結果,除去された汚染物質が洗浄された表面への再付着が示唆された.そこで100気圧,摂氏100度,に固定し他条件で処理時間,処理回数をパラメータに選び,一処理ごとに使用流体を排出する方法で実験した.その結果,
イ) 処理回数が多い方が洗浄効果は大きい,ロ)連続的に流体を排出しながらの洗浄が最も効果は大きい、という常識的なデータを得た.
1-2) 超臨界炭酸ガスの高い溶解度は媒質に依存する.いわゆる汚れは多種の媒質の混合物であるから汚染除去の効果は曖昧さを含む.その克服のため,分析条件から汚染物質をセグリドとし、試料表面に塗り,洗浄効果を評価する実験を開始した.
2) 超臨界炭酸ガス中のオゾン処理
2-1) 従来,超臨界炭酸ガス中のオゾン処理は全くないので次の基礎実験をした.
イ) 安全性からまず1気圧で高濃度オゾンをチェンバー内に生成蓄積し,それに超臨界炭酸ガスを注入する.さらに本法では高圧配管中を輸送するので,高濃度オゾン発生と低流量酸素ガスとの関連を求めた.ロ)チェンバー内に一定期間保持し,処理をするため,超臨海界炭酸ガス中でのオゾンの生存を確認した。さらにオゾンの生存時間の温度依存性を求めた.

Research Products

• [Publications] 百瀬丘 他4名: "オゾン処理によるアルミ合金箔の脱脂" 真空. 41・3. 395-396 (1998)
• [Publications] 百瀬丘 他4名: "Surface cleaning aluminum foil with ozone gas" Journal of Vacuum Science & Technology. 16・3. 961-963 (1998)