1999 Fiscal Year Annual Research Report
反応性亜臨界帳臨界炭酸ガスとオゾンによる低吸着性低ガス放出性酸化膜の制作
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09555220
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| Research Institution | Miyagi National College of Technology |
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Principal Investigator |
百瀬 丘 宮城工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (90006271)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
蓼沼 克嘉 株式会社化研, 水戸研究所・高度技術制発部, 研究員
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| Keywords | オゾン処理 / 超臨界炭素ガス / 超高真空装置用材料 / 表面洗浄 / FTIR |
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| Research Abstract |
本研究は高い清浄(酸化)効果をもつオゾンと炭化水素に対し高い溶解度をもつ超臨界炭素ガスを混合した処理を施し,超高真空用材料(アルミニウム)の清浄でかつ低ガス放出率,低吸着性の表面を得ることを目的とする.
昨(第2)年度はアルミニウム表面に付いた自然汚染(10^<-7>mの厚さ位かそれ以下)の除去を行い、ため込み式と放流式の効果を比較し、後者が洗浄効果を上げることがわかった。ヨウ化カリウム法により、オゾンの超臨界炭酸ガスの中での存在を予備実験で確認した。前者はX線光電子分光(XPS)により評価した。
本(第3)年度はアルミ表面に、人間の皮脂に近いトリグリセリドを強制的に付着させたものを汚染(〜10^<-5>mの厚さ)とし、除去実験を行い、FTIR法で評価した。FTIRは破壊検査であるため、処理前のピーク高は作成した検量線に基づいて求め、処理後測定したピークとの比をとって%で求めたものを除去率とした。ただし、CH_2とCH_3の二つの吸収ピーク高を用いている。
1、除去率は自然汚染の場合(〜40%)より高い50-98%を得た。その場合、CH_3から得た値はCH_2から得たものより数%から11%高い。
2、汚染除去率は100-300気圧で超臨界炭素ガスの圧力に比例する。
3、酸素を添加物(1%)として処理した場合の平均値は79-75%で、無い場合(69-63%)に比べ高く、酸素の効果があることがわかった。
4、0.2%のオゾンガスを用い、寿命測定の結果、10Cで10時間、20-40Cで4.5時間、60-70Cで2時間、90Cで数十分であった。昨年度の結果と合わせ超臨界炭酸ガス中のオゾン処理ができることが分かった。
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