1997 Fiscal Year Annual Research Report
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09558053
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
安藤 晃 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90182998)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
服部 邦彦 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (90261578)
犬竹 正明 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90023738)
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| Keywords | プロセスプラズマ / ラジカル中性粒子 / 四重極磁場 / 磁気中性点 |
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| Research Abstract |
本研究の目的は従来のプラズマ源にない発想に基づいて磁場および電場を組み合わせた閉じこめ方式により、大面積で空間的均一性のよい高密度プラズマを効率よく生成し、ここで生成されたラジカル中性粒子を取り出し、プロセス用に応用できる装置を開発することである。
本研究で開発される装置は、プラズマ閉じこめ部に直線型四重極磁場配位を用いて中心部に磁気中性点を作り出し、これによって空間的均一性のよいプラズマを作り出すものである。本装置では永久磁石を使用せず、2本のロッドに電流を流すことによって発生した磁場によりプラズマを閉じこめる。2本のロッドの中央には磁気中性点が生じるため、ここでは磁場が存在せずこの中性点に沿って均一なプラズマが閉じこめられる。ロッドを通った電流は壁面近傍に設置したリターン板を通って環流されるため、容器外部には原理的に磁場が存在しない。さらに、ロッド周辺に近づくにつれ磁場強度が増すためプラズマとロッド表面との相互作用を極力低減できる。また、この装置には軸方向には原理的に制限がなく大面積化も可能であるなど多数の利点を持つ。
本年度は、2本のロッドを用いて直線型四重極磁場を発生させるための真空容器を製作し、真空排気テストを行った。さらにロッドに電流を流し中心部で磁場が0G、ロッド周辺部で数100G程度の磁場が発生できる事が確認できた。さらに両端にそれぞれ誘導結合型のRFプラズマ源を取り付け、RF電源からの高周波(周波数13.56MHz)を給電しプラズマ生成を行った。
今後は、この生成されたプラズマのパラメーターをラングミュアプローブ等によって測定しながら、動作条件の最適化を行う。
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