1997 Fiscal Year Annual Research Report
単一電子トランジスタをプローブとした走査顕微鏡の開発
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09640419
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Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
八木 隆多 東京大学, 大学院・理学系研究科, 助手 (60251401)
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| Keywords | 単一電子トランジスタ / 走査顕微鏡 |
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| Research Abstract |
単一電子トランジスタをプローブとして用いた走査顕微鏡の開発にあたり、本年度はプローブの開発を行った。低温走査機構を単純化するために希釈冷凍機ではなくヘリウム3クライオスタットを用いる予定である。単一電子トランジスタがその温度領域で動作する必要があり、接合面積では0.1ミクロン角をかなり下回らなければならないため微細化の技術開発が必要である。我々はより微細な構造を作るために蒸着中に蒸着物質がマスクに堆積することによりマスク開口部分が狭くなるのを利用して微細な構造を作成しつつある。この方法を用いて、電子線ビームリングラフにより作成したレジストマクスを約30パーセント程度小さくすることができている。また、この方法を用いて、単一微小ジョセフソンにシャント抵抗を外付けし、超伝導・絶縁体転移を制御するのに成功した。
走査機構に関しては1から10ミクロン程度の解像度があればよいので、ピエゾ素子を用いるか、室温部分から動力を導入するかについて現在検討中である。
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Research Products
(5 results)
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[Publications] R.Yagi, S.Kobayashi, Y.Ootuka: "Phase Diagram for Superconductor-Insulator Tramsition in Single Simall Josephson Junctions with Shunt Resistor" J.Phys.soc.Jpn,. 66. 3722-3724 (1997)
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[Publications] R.Yagi, S.Kobayashi: "Tuning of Superconductor-Insulator Transition in Single Small Josephson Jumctions by Shunt Resistov" J.Phys.soc.Jpn.66. 3360-3362 (1997)
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[Publications] R.Yagi, T.Yamaguchi, H.Kazawa, S.Kobayashi: "Phase Dragron for Superconductor Insulator Transition in Two-Dimensional Arrays of Small Josephson Junctions" J.Phys.soc.Jpn.66. 2429-2436 (1997)
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[Publications] H.Kazawa, R.Yagi, K.Ono, Y.Ootuka, S.Koboyashi: "Chemical Potential Dependence of Resistance of Two-Dimensional Arrays of Small Josephson Junctions" J.Phys.soc.Jpn,. 66. 276-277 (1997)
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[Publications] H.Kazawa, R.Yagi, K.Ono, Y.Ootuka, and S.Koboyashi: "Chemical Potential Dependence of Resistance of Two-Dimensional Arrays of Small Tunrcel Junctions" Jpn.J.Appl.Phys.36. 4020-4021 (1997)
