内殻電子励起による単一分子加工と新素材創生への応用

1997 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09650037
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Research Institution: Okazaki National Research Institutes
• Principal Investigator: 宇理須 恒雄 岡崎国立共同研究機構, 分子科学研究所, 教授 (50249950)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 間瀬 一彦 岡崎国立共同研究機構, 分子科学研究所, 助手 (40241244)
• Keywords: 多層膜ミラー / 放射光 / STM / 走査トンネル顕微鏡

Research Abstract

(1)多層膜ミラー分光器の製作とビームラインの建設
二結晶型の多層膜ミラー分光器の製作とそれを設置したビームラインの建設をほぼ完了した。Mo/SiおよびMo/Cの二種類のミラーで、70-130eVをカバーする。今後、単色性、フラックスなどの測定を行う。
(2)STM装置の立ち上げ
超高真空対応のSTM装置を立ち上げ、放射光ビームラインに接続した。Si(111)の清浄表面の原子像の観察を確認した。Si(111)表面の自然酸化膜を放射光励起脱離により除去し、STMにより表面を観察することに成功した。今後さらに多様な表面について原子像の測定を進める。
(3)赤外反射吸収スペクトル(IRRAS)の測定
Si(100)表面の吸着水素の熱脱離、および放射光照射脱離についてIRRASで測定し、吸着表面構造の決定および、吸着種の分解機構の解明を行なった。また、Ge/Si(100)表面の水素の反応についても調べ、水素により、Geがエッチングされることを見出した。

Research Products

• [Publications] Akitaka Yoshigoe: "Surface hydrogen and growth mechanisms of the synchrotron radiation-assisted silicon gas source molecular beam epitaxy using disilane." Applied Organometallic Chemistry. (in press). (1998)
• [Publications] Harutaka Mekaru: "Design and performance of a multilayered-mirror monochromator in the low energy region of vacuum ultra violet" J.Synchrotron Radiation. (in press). (1998)
• [Publications] Tsuneo Urisu: "Synchrotron radiation process and in-situ observation technique : infrared reflection absorption spectroscopy" SPIE Proceedings. (in press). (1998)