1998 Fiscal Year Annual Research Report
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09650056
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| Research Institution | Ritsumeikan University |
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Principal Investigator |
浮田 宏生 立命館大学, 理工学部, 教授 (00278491)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
岡田 正勝 立命館大学, 理工学部, 教授 (90247809)
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| Keywords | 波長可変半導体レーザ / 光熱作用 / 外部共振ミラー / 微小梁 / 戻り光 / バイモルブ膜 / 反射防止膜 / InP系 |
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| Research Abstract |
今年度は、近接外部共振型波長可変半導体レーザの微小梁(外部共振ミラー)の変位拡大と波長可変範囲の拡大を目的とした。
(1) レーザに一体集積された微小梁の光熱変位では、昨年度得た3層バイモルフ梁の光吸収率を向上するため、反射防止膜(Au/Si3N4/Au)を設計し、光吸収率をほぼ100%まで増大させた。この結果、GaAs系では、Au 26nm,Si3N4 223nm,Au 100nm,Si3N4 100nm,GaAs 2000nmで光吸収率99%、変位546nm(λ/2=415nm)、InP系ではAu 16nm,Si3N4 366nm,Au 100nm,Si3N4 100nm,InP 2000nmで光吸収率98%、変位902nm(λ/2=630nm)の最終的な5層膜設計案を得た。
(2) 波長可変範囲の拡大では、微小梁側の半導体レーザ端面に反射防止膜を付与し、レーザの発振メカニズムや波長を実験解析した。その結果、波長可変半導体レーザの動作条件として、
i)外部共振器長を短く、ii)外部ミラー反射率を大きく、iii)I/Ith≧1.4の駆動電流などの強光帰還が有効であることを明かにした。
(3) 理論解析では、外部共振器の光結合効率、実効反射率などを各種の構成について計算した。今後は帰還光の、半導体レーザキャリア密度、利得スペクトル形状、屈折率などへ及ぼす影響を分析する予定である。
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[Publications] 田邊裕一郎, 浮田宏生: "3層バイモルフ微小梁の熱変位拡大のための一設計" 電気学会マイクロマシン研究会資料. MM-98-5. 23-25 (1998)
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[Publications] 増田陽一郎, 浮田宏生: "浮上スライダー方式による複合共振半導体レーザーの波長解析" 光学. 26,8. 442-447 (1998)
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[Publications] 浮田宏生: "光マイクロマシン(巻頭言)" 光学. 26,6. p.305 (1998)
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[Publications] 浮田宏生: "光マイクロマシン技術の進展" 電気情報通信学会誌. 81,12. 1234-1244 (1998)
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[Publications] Bijan Ghafary, Suo Donghui and Masakatsu Okada: "Dynamics of an Optically Swiched Bistable Semiconductor Laser" OPTICAL REVIEW. 5,No.2. 99-104 (1998)
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[Publications] Bijan Ghafary and Masakatsu Okada: "Switching of a Semiconductor Laser with Multi-Detuned Optical Inputs by Controlling Injection Current" OPTICAL REVIEW. 6,No.3(to be published).
