1997 Fiscal Year Annual Research Report
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09650152
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Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Research Institution | The Institute of Physical and Chemical Research |
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Principal Investigator |
山形 豊 理化学研究所, 素形材工学研究室, 研究員 (70261203)
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| Keywords | 超精密切削加工 / マイクロファブリケーション / 超精密研削加工 / マイクロマシン |
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| Research Abstract |
本年度の研究結果の概要は以下の通りである。
(1)高硬度材料を用いた微細切削工具製作のための基礎実験
超精密切削加工による微細構造創成を実現するためには、微細切削加工を可能とするマイクロツールの製作が必要である。これら、マイクロツールの材料としては、単結晶ダイヤモンド、タングステンなどの高硬度材料が望ましい。そこで、本年度は、タングステンをダイヤモンド研削工具によって加工しマイクロツールとして形成可能かどうかを見極めるための基礎実験を行った。その結果、タングステン材料を70μm以下の大きさに加工することが可能であった。また先端付近のRは1μm以下であると推測された。これにより、高硬度材料によりマイクロツールを形成可能であることが示された。
(2)単結晶ダイヤモンド工具による微細切削加工条件の検証
微細構造物を超精密切削加工により生成する場合、マクロ的な加工の異なり金属材料の結晶構造、組織構造の影響を大きく受ける。とくに、一般の金属材料では結晶粒の大きさが微細構造物の大きさとほぼ同じになるため、結晶粒界段差などによる影響を大きく受けてしまう。そこで、銅の単結晶材料を使用して微細構造の形成を行い、結晶方位と加工状態の関連および多結晶材料との比較を行った。その結果、特定の結晶方位を除くと微細加工を行った際に単結晶材料の方が良好な形状を得ることができた。
以上の結果より、超精密切削加工による微細構造創成に際して必要とされる基礎的な問題に対する考察を行うことができたと言える。
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Research Products
(2 results)
