フィルターを用いた波長制御形レーザ駆動マイクロマシンに関する研究

1997 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 09650302
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Research Institution: Gifu National College of Technology
• Principal Investigator: 稲葉 成基 岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (30110183)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 羽根 一博 東北大学, 工学部, 教授 (50164893) ; 熊崎 裕教 岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 助教授 (70270262)
• Keywords: 光熱効果 / フィルター / レーザ駆動 / マイクロマシン / 波長

Research Abstract

光の波長の違いによって、独立に光熱振動させるメカニクスを確立するために、本年度は以下のような基礎的な研究を実施した。
1.多数のカンチレバ-をフォトリソグラフィにより製作し、そのパターンにあわせて入れ違いに、830nmと780nmのバンドパスをもつフィルターをスライドグラス上に成膜した。フィルターは銀、フッ化マグネシウムおよび銀の3層構造からなる干渉型フィルターである。830nmおよび780nmの発振波長をもつ2本の半導体レーザで混合した光を片持ち梁に照射したところ、独立にカンチレバ-を振動させることができることを確認した。
2.製作したフィルターの透過特性および光熱振動の基礎的なデータを測定した。
3.片持ち梁そのものにバンドパスフィルターを実装し、同様に個々の半導体レーザによって独立に光熱振動させた。完全に分離はされていないが、各レーザにそれぞれの片持ち梁が対応して振動することを確かめた。
4.3種類のバンドパスフィルターを製作し、それぞれの波長のレーザ光の位相を120度ずつ入れ替えることによって、進行波の方向を制御するシステムを考案した。具体的には680nm、780nm、および830nmのバンドパスフィルターを現在成膜している段階であり、来年度に実験を実施する予定である。