| Research Abstract |
前年度に引き続いて,錫蒸着膜のSF6分解ガスによる電気抵抗変化の測定の実験を行った。試料はスライドガラス基板上に幅20mm,長さ35mm,500Å〜350Åの厚さに錫を蒸着し,電極リード線は直径0.05mmの銀線を銀ペイントによって20mmの間隔に付けた。前年度の研究結果では,膜厚約300Å近傍の試料において放電開始後,約3時間でSF6分解ガスの検出ができることが明らかとなった。しかし,膜厚,総放電エネルギーをパラメータにした電気抵抗値の変化の結果が得られなかった。本年度は,まずこの実験から開始して,SF6分解ガス検出に最も感度の良い蒸着膜厚を探索した。作製した試料を放電容器に設置し,10^<-2>Torrの真空中に6時間放置し,SF6ガスを1.2Kg/cm^2に充填し,その中に20時間放置し電気抵抗値に変化が無いのを確認し,その後,蒸着膜厚に対して,A.C.コロナ放電の総放電エネルギを変えて(放電の程度,約80〜120pc),放電時間の経過に対する電気抵抗値の変化を測定した。放電電荷量の測定には,日本計測器製(株)同調式部分放電測定器CD-6用いた。この結果,錫蒸着膜厚が約330,350Åにおいて,放電開始後、約3時間で,膜厚約400Åでは約4時間で,SF6分解ガスの検出ができることが明らかとなった。次に,XTM/2蒸着モニタを利用して,水晶振動子に蒸着した錫の蒸着膜がSF6分解ガスによってエッチングされ発振周波数が変化し,SF6分解ガスの検出の可能性があるかどうかの試みの実験を行った。SF6ガスで1.2Kg/cm^2に加圧された放電容器内に挿入された水晶振動子に約300Å蒸着した錫は,A.C.コロナ放電によって生じる分解ガスによってエッチングされていることは,XTM/2蒸着モニタのエッチング量の指示によって確認できたが,検出時間の測定までには至らなﾟかった。この原因は水晶振動子の加圧状態での発振が安定しないことで,今後の検討問題として残った。
|
