• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

1997 Fiscal Year Annual Research Report

ゾル・ゲル法によるリラクサ-型強誘電体薄膜の作製

Research Project

Project/Area Number 09650756
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

小田 克郎  東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (80177229)

Keywordsリラクサ-型強誘電体 / 散漫相転移 / ペロブスカイト型結晶構造 / 強誘電特性 / 極微細構造 / メスバウアー分光法
Research Abstract

リラクサ-型強誘電体薄膜を作製するための作製手段でとしてイオンビームスパッタ装置を立ち上げた.本装置ではアルゴイオンガンからアルゴン原子で金属ターゲットをたたいてPb,Fe,Nbの活性金属原子を基板上へ跳ばし,さらに別の酸素ガンから活性酸素原子を基板上へ照射して基板上で金属原子の酸化反応を起こさせる.その際に,金属ターゲットは回転式なっており,複数のターゲットを取り付けることができる.それにより,金属の複合酸化物薄膜を作製する.現在,Pb(Fe_<1/2>Nb_<1/2>)O_3のペロブスカイト構造を得るための最適な条件を探索している.また,作製したリラクサ-型強誘電体薄膜の強誘電体特性を測定するための温度可変型強誘電特性測定システムを作製した.このシステムを用いることにより誘電率の温度依存性や強誘電ヒステリシスループの形状の温度依存性を調べることが可能になった.さらに,リラクサ-型強誘電体が示す散漫相転移のミクロな機構を明らかにするため,Fe原子の置かれている極微細構造を調べる後有力な手段であるメスバウアー分光法を適応している.これにより,ペロブスカイト構造の体心位置での電場勾配,電子密度あるいは結晶格子の硬さを測定できる.これまで,強誘電体の研究に関してメスバウアー分光法は他の材料に比べてあまり用いられていない.本研究では強誘電体の研究に置いて初めてメスバウアー分光法を系統的に用いてスペクトルの温度依存性を調べ,散漫相転移の機構を調べている.

  • Research Products

    (2 results)

All Other

All Publications (2 results)

  • [Publications] 小田 克郎: "Pb(Fe_<1/2>Nb_<1/2>)O_3強誘電体セラミックスにおける散漫相転移" 生産研究. 50・2. 21-24 (1998)

  • [Publications] Katsuro Oda: "Diffuse Phase Transition in Pb(Fe_<0.5>Nb_<0.5>)O_3" Proceedings for PRICM3. (in press).

URL: 

Published: 1999-03-15   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi