1998 Fiscal Year Annual Research Report
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09750063
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| Research Institution | Toyota Technological Institute |
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Principal Investigator |
大知 渉之 豊田工業大学, 大学院・工学研究科, PD研究員 (70288554)
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| Keywords | X線レーザー / マイクロXPS / シュヴァルツシルトミラー / マイクロビーム |
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| Research Abstract |
本年度は、マイクロビームのビームサイズを幾何光学的に得られる理想的な大きさにするために、いくつかの対策を講じた。またその後、XPS装置を構築し装置の立ち上げを行った。
(1) マイクロビーム実験
対策として二つ行った。まず、ポンプの振動により生じるチェンバーの振動をおさえるために、除震用ゴムを使用したり、振動部分をしっかり固定した。また、測定時に用いるナイフエッジの刃先をより鋭いものに交換した。以上の対策を行った結果、幾何光学的に得られる大きさ約0.45μmに対して、共振器OFFの時は約0.42μm、共振器ONの時は約0.45μmとほぼ理想値の大きさを得ることができた。
(2) XPS装置の立ち上げ
この装置では、X線レーザの励起源であるYAGレーザーシステムとして、繰り返し運転(10Hz運転)可能なレーザーを用いることにした。それに伴い、ターゲットの形状を板状のものから、テープ状のものに代えた。このターゲットを用いて測定した結果、光電子を検出することできなかった。今回光電子の検出に至らなかった原因としては、励起源であるYAGレーザーシステムの出力不足にあると考えられる。そのために、X線レーザー線(波長15.47nm)の強度が小さかったものと思われる。このレーザーシステムの問題点としては、テープターゲット表面でのYAGレーザーの反射による波形の乱れと、繰り返し運転による出力低下、電磁ノイズによるS/Nの低下がある。初めの二つはYAGレーザーのロッドの状態、三つめは信号処理系が影響している。これらの問題点は現在対処中であり、具体的には繰り返し周波数を下げること、そしてノイズ発生源とノイズを取り込んでいる部分のシールドを行うことである。
これらのYAGレーザーシステムの改善を行うことにより、サブミクロン空間分解能を持った装置が動作できるものと考える。
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Research Products
(3 results)
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[Publications] T.Ohchi, N.Yamaguchi, et al.: "Formation of Microbeam Using Tabletop Soft X-ray Laser" Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 印刷中. (1999)
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[Publications] N.Yamaguchi, A.Ogata, et al.: "Study on Lithium-like X-ray Laser Pumped by Pulse-train Laser" Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena. 印刷中. (1999)
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[Publications] N.Yamaguchi, T.Ohchi, et al.: "Line focus system with a segmented prism array for compact x-ray laser experiments" Review of Scientific Instruments. Vol.70 No.2. 1285-1287 (1999)
