1997 Fiscal Year Annual Research Report

サブナノメートルスケール異種材料間接合の原子直視型その場構造解析

Research Project

Project/Area Number	09750789
Research Institution	Nagoya University
Principal Investigator	木塚徳志名古屋大学, 難処理人工物研究センター, 講師 (10234303)
Keywords	その場電子顕微鏡 / 電子顕微鏡 / 原子直視型観察 / 高分解能観察 / 接合 / 変形 / 金 / 界面
Research Abstract	本研究では接合の瞬間における原子挙動をその場で直視できるような電子顕微鏡内接合とその場観察法を開発することを試みた。各種金属(鉄、金)を成形し楔状に機械研磨し、さらに先端部を電解研磨、もしくはイオン研磨した。先端を研磨した各金属を申請者の開発した電子顕微鏡内接合ホルダーの可動側、固定側に固定した。テレビカメラ-ビデオテープレコーダー動的画像記録システムやX線組成分析・エネルギー損失分析装置を備えた高分解能電子顕微鏡に接合ホルダーを挿入した。電子顕微鏡観察して両側の試料の接合させる領域を決定した。可動側の接合試料ロツドを操作し固定側の接合試料に接近させ、左右上下位置を粗動治具によって、各接合領域が接触できるように位置移動した。2つの接合試料間の距離を数nmまで接近させた後でさらにピエゾ素子によって、さらに数オングストローム尺度で精密に上下左右の位置を調整した。この時点で両側の試料表面を高分解能観察して、表面状態、または接合直前の近距離相互作用を調べた。2つの試料を接近させて接触させ、その瞬間の原子配列変化、反応層の形成と成長などの界面化学反応を原子尺度で観察した。従来の観察方法では観察できなかった材料の接合の瞬間における構造変化の原子的接合挙動を明らかにすることができた。

Research Products
(7 results)

All Other

All Publications (7 results)

[Publications] T.Kizuka et al.: "Cross sectional high-resolution transmission electron microscopy of atomic scale contact and non-contact type scanning on gold surfaces" Physical Review. B55. R7398-7401 (1997)
[Publications] T.Kizuka et al.: "Atomic process of epitaxial growth of gold on magnesium oxide studied by crosssectional time-resolved high-resolution electron microscopy" Physical Review. B56. R10079-R10082 (1997)
[Publications] T.Kizuka et al.: "Atomic desorption process in nanometer scale electron beam processing of MgO in high-resolution transmission electron microscopy" Philosophical Magazine. 76. 289-298 (1997)
[Publications] T.Kizuka et al.: "Atomic visualization of epitaxial growth process using a new TEM specimen holder for vacuum-deposition" Surface Science. 386. 249-253 (1997)
[Publications] T.Kizuka et al.: "Time-resolved high-resolution electron microscopy of solid state direct bonding of gold and zinc oxide nanocrystallites at ambient temperature" Applied Physics Letlers. 70. 964-966 (1997)
[Publications] T.Kizuka et al.: "Time-resolved high-resolution electron microscopy of atomic scale solid state direct bonding of gold tips" J.Electron Microscopy. 46. 151-160 (1997)
[Publications] 木塚徳志他: "ミクロの世界・物質編" (社)日本電子顕微鏡学会, 408 (1997)

1997 Fiscal Year Annual Research Report

サブナノメートルスケール異種材料間接合の原子直視型その場構造解析

Principal Investigator

木塚 徳志 名古屋大学, 難処理人工物研究センター, 講師 (10234303)

Research Products

[Publications] T.Kizuka et al.: "Cross sectional high-resolution transmission electron microscopy of atomic scale contact and non-contact type scanning on gold surfaces" Physical Review. B55. R7398-7401 (1997)

[Publications] T.Kizuka et al.: "Atomic process of epitaxial growth of gold on magnesium oxide studied by crosssectional time-resolved high-resolution electron microscopy" Physical Review. B56. R10079-R10082 (1997)

[Publications] T.Kizuka et al.: "Atomic desorption process in nanometer scale electron beam processing of MgO in high-resolution transmission electron microscopy" Philosophical Magazine. 76. 289-298 (1997)

[Publications] T.Kizuka et al.: "Atomic visualization of epitaxial growth process using a new TEM specimen holder for vacuum-deposition" Surface Science. 386. 249-253 (1997)

[Publications] T.Kizuka et al.: "Time-resolved high-resolution electron microscopy of solid state direct bonding of gold and zinc oxide nanocrystallites at ambient temperature" Applied Physics Letlers. 70. 964-966 (1997)

[Publications] T.Kizuka et al.: "Time-resolved high-resolution electron microscopy of atomic scale solid state direct bonding of gold tips" J.Electron Microscopy. 46. 151-160 (1997)

[Publications] 木塚徳志 他: "ミクロの世界・物質編" (社)日本電子顕微鏡学会, 408 (1997)

木塚徳志名古屋大学, 難処理人工物研究センター, 講師 (10234303)

[Publications] 木塚徳志他: "ミクロの世界・物質編" (社)日本電子顕微鏡学会, 408 (1997)