1997 Fiscal Year Annual Research Report
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09875021
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
渡辺 征夫 九州大学, 大学院・システム情報科学研究科, 教授 (80037902)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
福澤 剛 九州大学, 大学院・システム情報科学研究科, 助手 (70243904)
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| Keywords | 超分子 / クラスター / 微結晶 / 微粒子 / 光電離 / 光電子放出 / シリコン / シランプラズマ |
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| Research Abstract |
本研究はシラン系プラズマを用いたナノメータサイズ微結晶を含むSi系超分子構造創製法の開発を目的としている.
本年度は,Si微粒子は高圧力・高電力密度の条件下では高周波電極側のプラズマシースの境界領域で発生・成長し,低圧力・低電力密度の条件下ではプラズマバルク領域で成長することを示し,ナノメートル微結晶は成長が緩やかなプラズマバルク領域で生成されることを初めて明らかにした.さらに,作製したSi微粒子の結晶性をTEMで評価し,結晶性を得るには,高水素希釈条件の下で作製する必要があることを示した.
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[Publications] Yukio Watanabe: "Dust phenomena in processing plasmas" Plasma Phys.Control.Fusion. 39,5A. A59-A72 (1997)
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[Publications] Yukio Watanabe: "Particle Formation in High Frequency CVD Plasmas" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma/14th Symp.Plasma Processes. 3. 225-226 (1997)
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[Publications] Yukio Watanabe: "Study on growth processes of particles in rf SiH_4 plasmas" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma/14th Symp.Plasma Processes. 3. 351-352 (1997)
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[Publications] Yukio Watanabe: "Advanced in Dusty Plasmas" Particle growth kinetics in RF discharges, 163-172 (1)
