1998 Fiscal Year Annual Research Report
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09875021
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
渡辺 征夫 九州大学, 大学院システム情報科学研究科, 教授 (80037902)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
福澤 剛 九州大学, 大学院システム情報科学研究科, 助手 (70243904)
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| Keywords | 超分子 / クラスター / 微結晶 / 微粒子 / 光電離 / 光電子放出 / シリコン / シランプラズマ |
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| Research Abstract |
シランおよびゲルマンプラズマを用いた,Si系およびGe系超分子構造作製法の探索を目的とし,超分子構造作製のためのプラズマ制御の観点から,Si系およびGe系微粒子の発生・成長過程を系統的に調べた.さらに,これらの基礎的な理解に基づき,超分子のサイズ・構造を制御するキーパラメータについて検討を行った.以下に主要な結果のみ示すが,この他にも多くの有益な知見を得ることが出来た.
1. Si系およびGe系微粒子の中心サイズは,変調高周波放電プラズマ発生法の放電維持時間を変化することで数nmから数100nmの範囲にわたって,比較的自由に制御できる.この場合の,微粒子サイズ分布の広がりは,放電開始がら微粒子核発生までの時間の違い,微粒子成長率の空間的な違いによって主として決まっている.
2. 微粒子の結晶性を制御するためのキーパラメータは,H_2希釈率と微粒子成長率である.高H_2希釈,低成長率の場合ほど,Si微粒子の結晶性が良くなる.また,微結晶サイズはサイズ効果が期待できる10nm程度以下である.
3. 微粒子サイズは通常,微結晶サイズよりも大きい.微粒子サイズと微結晶サイズを一致させるには,微粒子同士の凝集を防ぐことが重要である.
4. ナノSi結晶超分子については室温で可視発光フォトルミネッセンスを示す.
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Research Products
(6 results)
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[Publications] Hiroharu kawasaki: "Simularities in spatial distribution of GeH_2 density, radical production rate and particle amount in GeH_4 rf discharges" Jpn. J. Appl. Phys.37・4B. L475-L477 (1998)
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[Publications] Hiroharu kawasaki: "Study on growth processes of particles in germane rf discharges using laser light scattering and SEM methods" J. Appl. Phys.83・11. 5665-5669 (1998)
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[Publications] Hiroharu kawasaki: "Transition of particle growth region in SiH_4 rf discharges" Jpn. J. Appl. Phys.37・10. 5757-5762 (1998)
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[Publications] Hiroharu kawasaki: "Study on intial growth of particles in low-pressure and low-power GeH_4 rf discharges using the PCLLS method" Jpn. J. Appl. Phys.37・10B. L1264-L1267 (1998)
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[Publications] 渡辺 征夫: "微粒子プラズマ研究の新展開" 電気学会誌. 118・12. 768-771 (1998)
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[Publications] Yasuhiro Matsuoka: "Effects of gas flow on particle growth in silane rf discharges" Proc. 4th Int. Reactive Plasma/16th Symp/ Plasma Processes. 61-62 (1998)
