セラミックスの超塑性加工に起因する粒界空隙の表面処理

1998 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 10122202
• Research Institution: Ibaraki University
• Principal Investigator: 浦尾 亮一 茨城大学, 工学部, 教授 (10007776)
• Keywords: 超塑性 / セラミックス / 表面処理 / キャビテーション / 機械的性質 / プラズマCVD / イオンプレーティング

Research Abstract

3Y-TZPおよび3Y-20Aを供試材として種々の超塑性変形条件下(温度範囲1573K〜1773K、初期ひずみ速度10^<-4>〜10^<-2>sec^<-1>)で引張変形し、初期空隙体積率の異なる試料を作成した。表面処理は、(1)プラズマCVD法(成膜温度973K、真空度0.6Torr、H_2ガス流量0.6l/min、N_2ガス流量3.6l/min)によるTiNの被覆、および(2)上記の処理後アーク式イオンプレーティング法(成膜温度723K)によるTiAlNの被覆を行った。硬さおよび曲げ強さは空隙体積率Vcの増加とともに低下するが、TiNおよびTiAlNの被覆により硬さは未変形の場合の値より大きく向上した。また曲げ強さは元の値の60〜90%まで回復した。硬さの向上にはTiNが、曲げ強さの改善にはTiAlNの方が有効であることが分かった。

Research Products

• [Publications] 浦尾亮一 外: "ジルコニア系セラミックスの超塑性変形に起因する粒界空隙の表面処理" 文部省科研費特定領域研究(A)「超塑性の新しい展開」研究成果報告会概要集. 70 (1998)
• [Publications] 浦尾亮一 外: "ジルコニア系セラミックスの超塑性変形に起因する粒界空隙の表面処理" 超塑性の新しい展開(平成10年度科研費補助金)研究成果報告書. 123-124 (1999)
• [Publications] K.Terakado,R.Urao: "Plasma Carburizing using Hollow Cothode Discharge and its Applications" Asian Finish'98,Seoul. (1998)