1998 Fiscal Year Annual Research Report

電子顕微鏡内マイクロプロセス・マイクロファブリケーションシステム構築と実験

Research Project

Project/Area Number	10305012
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Research Institution	Ibaraki University
Principal Investigator	江田弘茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	稲垣正寿日立製作所, 日立研究所, 主任研究員清水淳茨城大学, 工学部, 助手 (40292479) 馬書根茨城大学, 工学部, 助教授 (20250988) 中野博民茨城大学, 工学部, 講師 (90257329) 山本佳男東海大学, 工学部, 助教授 (20272114)
Keywords	電子顕微鏡 / マイクロマシニング / マイクロマニファクチャリング / マイクロファブリケーション / マニピュレータ / マン-マシンインターフェイス / 画像処理 / アクチュエータ
Research Abstract	マイクロマシニング、マイクロマニファクチャリング、マイクロファブリケーションを連携し、一台のマシンに融合することにより、加工、組立、評価点検を一貫融合するシステムを開発する。同時に、五感覚外の無感覚世界とマクロな五感覚世界の実像を結合する、マクロ世界とマイクロ世界との間のインターフェイス開発を行う。平成10年度は〔I〕マニピュレータの構成決定と設計・製作〔II〕マン-マシンインターフェース・ビジョンシステムおよびその制御システムの開発を行った。以下、グループ毎に研究成果を記述する。 Aグループ:電子顕微鏡内で部品の移動と位置決めに用いるテーブル、およびその駆動用回路を設計・試作し、ユニット化した。部品加工およびその他の作業用の3軸方向に移動可能な2台のマニピュレータ、およびその駆動用回路を設計・試作し、ユニット化した。同時に、上記2つの駆動用ソフトウェア開発を行った。なお、微動部分の駆動用アクチュエータには、圧電素子を用いた。 Bグループ:作業者による加工および作業用マニピュレータの操作に使用するジョイスティックシステム用ソフトウェアの開発(ライブラリ化)を行った。 Cグループ:画像検出方法、画像データからの加工部品形状データの処理方法を決定し、画像処理部の構成要素を具体化し、そのシステム化および設計を行った。さらに、加工デバイス(マニピュレータの先端部分)として、調査を通じ要求される各動作を明らかにし、デバイスの設計および試作を行った。加えて、高真空かつ微小スケールでの作業において問題となる、摩擦・摩耗現象について原子オーダでシミュレーション解析を行い、その成果を国際会議ASIATRIB'98(北京、清華大学)にて発表した。

Research Products
(8 results)

All Other

All Publications (8 results)

[Publications] J.Shimizu,H.Eda,M.Yoritsune and E.Ohmura: "Molecular Dynamics Simulation of Friction on the Atomic Scale" Nanotechnology. 9・2. 118-123 (1998)
[Publications] 江田弘,L.Chouanine,清水淳: "ガラス引っかき過程の延性発現の検証-鋭利なダイヤモンド圧子を用いた場合-" 精密工学会誌. 64・4. 613-617 (1998)
[Publications] 飯井基彦,江田弘,今井尭一: "塩素フリー水溶性研削油剤の開発-地球に優しい水溶性研削油剤の開発-" 精密工学会誌. 64・6. 918-922 (1998)
[Publications] L.Chouanine,H.Eda and J.Shimizu: "Development of Key-Technology on the State-of-the-Art Machine Tool and Generalization of Grinding Forces under Ductile Mode Grinding Experiments" Journal of Japan Society of Precision Engineering. 32・2. 98-103 (1998)
[Publications] H.Eda,J.Shimizu and Y.Tomita: "Experiment and Simulation Study on Combined Mechanism of Micro World Scratching" Proceedings of 1st Int.Conf.on Tribology,ASIATRIB'98. 283-287 (1998)
[Publications] H.Eda,J.Shimizu and Y.Tomita: "Sliding Friction Mechanism on Ultra Precision Surface in Atomic Scale" Proceedings of 1st Int.Conf.on Tribology,ASIATRIB'98. 314-318 (1998)
[Publications] 江田弘(兼編集)他多数: "生産加工の原理" 日本機械学会編(日刊工業新聞社), 369 (1998)
[Publications] 江田弘(研究代表者): "広帯域ダイナミカルシステム適用の超磁歪材料の創成に関する研究" 科学研究費基盤研究(C)(2)(08650126),研究成果報告書, 120 (1998)

1998 Fiscal Year Annual Research Report

電子顕微鏡内マイクロプロセス・マイクロファブリケーションシステム構築と実験

Principal Investigator

江田 弘 茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)

Research Products

[Publications] J.Shimizu,H.Eda,M.Yoritsune and E.Ohmura: "Molecular Dynamics Simulation of Friction on the Atomic Scale" Nanotechnology. 9・2. 118-123 (1998)

[Publications] 江田 弘,L.Chouanine,清水 淳: "ガラス引っかき過程の延性発現の検証-鋭利なダイヤモンド圧子を用いた場合-" 精密工学会誌. 64・4. 613-617 (1998)

[Publications] 飯井基彦,江田 弘,今井尭一: "塩素フリー水溶性研削油剤の開発-地球に優しい水溶性研削油剤の開発-" 精密工学会誌. 64・6. 918-922 (1998)

[Publications] L.Chouanine,H.Eda and J.Shimizu: "Development of Key-Technology on the State-of-the-Art Machine Tool and Generalization of Grinding Forces under Ductile Mode Grinding Experiments" Journal of Japan Society of Precision Engineering. 32・2. 98-103 (1998)

[Publications] H.Eda,J.Shimizu and Y.Tomita: "Experiment and Simulation Study on Combined Mechanism of Micro World Scratching" Proceedings of 1st Int.Conf.on Tribology,ASIATRIB'98. 283-287 (1998)

[Publications] H.Eda,J.Shimizu and Y.Tomita: "Sliding Friction Mechanism on Ultra Precision Surface in Atomic Scale" Proceedings of 1st Int.Conf.on Tribology,ASIATRIB'98. 314-318 (1998)

[Publications] 江田 弘(兼編集)他多数: "生産加工の原理" 日本機械学会編(日刊工業新聞社), 369 (1998)

[Publications] 江田 弘(研究代表者): "広帯域ダイナミカルシステム適用の超磁歪材料の創成に関する研究" 科学研究費基盤研究(C)(2)(08650126),研究成果報告書, 120 (1998)

江田弘茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)

[Publications] 江田弘,L.Chouanine,清水淳: "ガラス引っかき過程の延性発現の検証-鋭利なダイヤモンド圧子を用いた場合-" 精密工学会誌. 64・4. 613-617 (1998)

[Publications] 飯井基彦,江田弘,今井尭一: "塩素フリー水溶性研削油剤の開発-地球に優しい水溶性研削油剤の開発-" 精密工学会誌. 64・6. 918-922 (1998)

[Publications] 江田弘(兼編集)他多数: "生産加工の原理" 日本機械学会編(日刊工業新聞社), 369 (1998)

[Publications] 江田弘(研究代表者): "広帯域ダイナミカルシステム適用の超磁歪材料の創成に関する研究" 科学研究費基盤研究(C)(2)(08650126),研究成果報告書, 120 (1998)