1999 Fiscal Year Annual Research Report

電子顕微鏡内マイクロプロセス・マイクロファブリケーションシステム構築と実験

Research Project

Project/Area Number	10305012
Research Institution	Ibaraki University
Principal Investigator	江田弘茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	馬書根茨城大学, 工学部, 助教授 (20250988) 中野博民茨城大学, 工学部, 講師 (90257329) 山本佳男東海大学, 工学部, 助教授 (20272114) 稲垣正寿日立製作所, 日立研究所, 主任研究員清水淳茨城大学, 工学部, 助手 (40292479)
Keywords	電子顕微鏡 / マイクロマシニング / マイクロマニファクチャリング / マイクロファブリケーション / マニピュレータ / マン-マシンインターフェイス / 画像処理 / アクチュエータ
Research Abstract	本研究では、マイクロマシニング、マイクロマニファクチャリング、マイクロファブリケーションを連携し、一台のマシンに融合することにより、加工、組立、評価点検を一貫融合するシステムを開発する。同時に、五感覚外の無感覚世界とマクロな五感覚世界の実像を結合する、マクロ世界とマイクロ世界との間のインターフェイス開発を行う。平成11年度は〔I〕マニピュレータの総合評価〔II〕電子顕微鏡内での実装及び評価システムの構築を行った。以下、グルーブ毎に研究成果を記述する。 Aグループ:操作テーブルの駆動用ソフトウェアおよび双腕型マニピュレータ駆動用ソフトウェアの開発を行った。 Bグループ:H10年に引き続き、ジョイスティック用ソフトウェアの開発を行い、Aグループ開発のジョイスティックと駆動系とのシステム融合を図った。 Cグループ:画像処理部のソフトウェアライブラリ化、およびカメラ部(CCD)のズームコントロール、X-Y-Z-θテーブルの設計試作、平行バネ方式による3軸力覚センサの設計・試作を行った。ここで、いずれのソフトウェアもWindows上で表示・操作可能なC(C++)言語によるものである。これらを組み込んだ後、大気中でマニピュレータ動作確認を行った。さらに、テーブルおよびマニピュレータを電子顕微鏡内に実装し、真空環境下における双方の動作確認をした。なお、これらの成果の一部は国内諸学会および国際会議(Int.Conf.Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS,Santa Clara)等で報告された。

Research Products

(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] H.Eda,Y.Yamamoto,T.Ishikawa,L.Zhou and T.Kawakami: "Design Concept and System Development of Machining Under a Scanning Electron Microscope"Proc.Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS,Santa Clara. 310-318 (1999)
[Publications] H.Eda,L.Zhou and J.Shimizu: "Computer Assisted Modeling and Simulation for Grinding Process"Proceedings of Int.Conf.Proc.EUSPEN'99,Germany. 226-229 (1999)
[Publications] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of State-of-Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 344-347 (1999)
[Publications] H.Eda,J.Shimizu and L.Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 420-423 (1999)
[Publications] J.Shimizu,H.Eda,L.Zhou and M.Jo: "Molecular Dynamics Simulation of friction and wear process with a simple model on tool stiffness effect"Proceedings of Int.Conf.ICPE-9,Osaka. 1013-1018 (1999)
[Publications] H.Eda,H.Hamada,Y.Tomita and Y.Yamamoto: "Study on Super-Fine Diamond Cluster with Application to Ultra-Precision Surface Generation"Journal of the Balkan Tribological Association. 5・2. 94-104 (1999)

1999 Fiscal Year Annual Research Report

電子顕微鏡内マイクロプロセス・マイクロファブリケーションシステム構築と実験

Principal Investigator

江田 弘 茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)

Research Products

[Publications] H.Eda,Y.Yamamoto,T.Ishikawa,L.Zhou and T.Kawakami: "Design Concept and System Development of Machining Under a Scanning Electron Microscope"Proc.Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS,Santa Clara. 310-318 (1999)

[Publications] H.Eda,L.Zhou and J.Shimizu: "Computer Assisted Modeling and Simulation for Grinding Process"Proceedings of Int.Conf.Proc.EUSPEN'99,Germany. 226-229 (1999)

[Publications] H.Eda,L.Chouanine,J.Shimizu and L.Zhou: "Development of State-of-Art Devices on the Sub-nanometer Grinding Machine Tool for Optical Glasses"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 344-347 (1999)

[Publications] H.Eda,J.Shimizu and L.Zhou: "Study on Ultra-Precision Machining of Ceramics for Optical Components"Proceedings of Int.Conf.ICOSN'99,Yokohama. 420-423 (1999)

[Publications] J.Shimizu,H.Eda,L.Zhou and M.Jo: "Molecular Dynamics Simulation of friction and wear process with a simple model on tool stiffness effect"Proceedings of Int.Conf.ICPE-9,Osaka. 1013-1018 (1999)

[Publications] H.Eda,H.Hamada,Y.Tomita and Y.Yamamoto: "Study on Super-Fine Diamond Cluster with Application to Ultra-Precision Surface Generation"Journal of the Balkan Tribological Association. 5・2. 94-104 (1999)

江田弘茨城大学, 工学部, 教授 (60007995)