1998 Fiscal Year Annual Research Report
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10305029
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
蒲生 健次 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 教授 (70029445)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
岩渕 修一 奈良女子大学, 理学部, 助教授 (40294277)
若家 冨士男 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助手 (60240454)
柳沢 淳一 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 講師 (60239803)
弓場 愛彦 大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助教授 (30144447)
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| Keywords | 単電子トランジスタ / クーロンブロッケード / 環境インピーダンス / 微小トンネル接合 / 電磁場環境効果 |
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| Research Abstract |
今年度の研究実績をまとめると以下のようになる。
1. 環境インピーダンス変調の効果を観測できる限界を明らかにするため、自己無撞着な数値計算を行い、配線のキャパシタンスの影響を理論的に検討した。その結果、配線のキャパシタンスに対する許容値が明らかになった。
2. 実際に配線のキャパシタンスの異なった単電子トランジスタを試作し、低温において伝導特性を測定した。その結果、上の理論計算の結果を再現する実験結果を得た。
3. 経路積分の方法とケルディッシュグリーン関数の方法を用いて、2重トンネル接合を流れる電流を、高次の効果まで採り入れた形で理論的に導いた。その結果を用いて、環境インピーダンスを変化させたときに、高次のトンネル電流がどのように変化するのかを数値的に求めた。高次のトンネル電流は、コトンネリングなど単電子素子の誤動作を解析する上で非常に重要である。
4.浮遊容量を小さくした、可変環境インピーダンスを実現するために、電子ビーム露光、イオンビームエッチングなどのプロセス条件の最適化を行った。
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[Publications] F.Wakaya: "Effects of asymmetric environment on the island charge state of single-electron transistors" Microelectronic Engineering. (発表予定).
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[Publications] F.Wakaya: "Transport Properties of a Resistively-Coupled Single-Electron Transistor" Jpn.J.Appl.Phys. (発表予定).
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[Publications] F.Wakaya: "Possible Control Method for Single Electron Tunneling Based on Environmental Impedance Modulation" Appl.Phys.Lett.74. 135-137 (1999)
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[Publications] F.Wakaya: "Interface States Made by Growth Interruption during In Situ Process" J.Vac.Sci. & Tech.B. 16. 2313-2316 (1998)
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[Publications] F.Wakaya: "Single Electron Tunneling Device with Variable Environmental Impedance" Semiconductor Science and Technology. 13. A107-A110 (1998)
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[Publications] F.Wakaya: "Single Electron Tunneling Device Controlled by Environmental Impedance Modulation" Solid State Electronics. 42. 1401-1405 (1998)
