次世代シリコン基板中の微小欠陥の光学的非破壊検出法の研究

1998 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 10450008
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Research Institution: Kyoto Institute of Technology
• Principal Investigator: 山田 正良 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教授 (70029320)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 福澤 理行 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助手 (60293990)
• Keywords: シリコン / 非破壊評価 / 結晶欠陥 / 画像処理 / 赤外偏光顕微鏡

Research Abstract

1. 現有している可視光用金属顕微鏡に2個の落射照明用投光管を接続し、その一方には通常の照明光源を、他方には本研究費で購入した半導体レーザ励起YAGレーザを取り付けるように改造した。また、鏡頭部には本研究費で購入したCCDエリアイメージセンサを取り付け、可視光と赤外光が検出できるように改造した。さらに、明視野用と暗視野用キューブ、偏光子、検光子を取り付けた。以上の改造で、照明光源として可視光領域と近赤外光領域とに切替えてどちらか一方、あるいは、両方同時に用いることができる偏光顕微鏡の光学系が構築できた。可変位相板が組み込まれた対物レンズを用いれば、位相差顕微鏡としても使用可能となる。
2. CCDエリアイメージセンサからのアナログ光電信号をアナログ/ディジタル変換し、ディジタル化した信号をパソコンに取り込むインタフェース回路とその制御プログラムを設計・製作し、CCDエリアイメージセンサに写るアナログ画像をディジタル画像に変換して計算処理できるCCD画像処理システムを構築した。