1999 Fiscal Year Annual Research Report
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10450059
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
芳井 熊安 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30029152)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
垣内 弘章 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 (10233660)
安武 潔 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (80166503)
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| Keywords | 原子光学 / 単色原子ビーム / レーザー冷却 / 高磁気勾配磁気回路 / ナノストラクチャー |
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| Research Abstract |
本研究は、磁場勾配と原子ビームの磁気的相互作用を利用して単色原子ビームを生成し、従来にない高精細なナノリソグラフィー技術を確立する事を目的としている。
(1) 熱的に発生させたLi原子ビームの縦方向速度の単色化を目的として、中性原子ビーム分光装置の開発を行った。原子ビーム分光装置は、原子と勾配磁場の相互作用に基づく原子ビームの偏向を利用している。
(2) 異極を対向させる磁気回路と、四重極配置の磁気回路について、磁場計算を行った。その結果、四重極配置の磁気回路の方が、極めて大きく均一な磁場勾配が得られることが分かった。
(3) NdFeB系永久磁石を用いて、四重極型に磁石を配置することにより作製した磁気回路において、得られた磁場勾配は1T/cm、磁石極間ギャップは、25.2mmであった。
(4) 作製した磁気回路を用いて、Li原子ビームと勾配磁場の相互作用を調べた。作製した原子ビーム分光装置は、原子ビームと磁場勾配空洞の相対位置を変化させることによって、偏向装置としてだけでなく、原子ビームレンズとして用いることが可能である。
(5) 1650m/sの原子ビームを磁気回路に入射させると、16m/sの横方向速度成分を与えることができた。
(6) 原子ビーム分光装置の分解能について検討した結果、原理的にはいくらでも高分解能化が可能であるが、現実的にコンパクトな配置で、1000m/sのLi原子ビームに対し、1%の高分解能が容易に得られることを明らかにした。
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Research Products
(1 results)
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[Publications] H.Ohmi,K.Yasutake,M.Shimizu,T.Yasukawa,A.Takeuchi,H.Kakiuchi,K.Yoshii and Y.Mori: "Creation of Mono-Velocity Neutral Atomic Beam"Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. JSPE Pub.Ser.No.3. 630-635 (1999)
