LIGAによる微細構造能動膜の生成とその駆動特性の解明

1998 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 10450099
• Research Institution: Kobe University
• Principal Investigator: 高森 年 神戸大学, 工学部, 教授 (10031098)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 大坪 義一 近畿大学, 理工学部, 助手 (90257973) ; 山本 昌彦 近畿大学, 理工学部, 教授 (00200840) ; 山崎 義治 神戸大学, 工学部, 教務職員 (90174648) ; 服部 元史 神戸大学, 工学部, 助手 (00252792) ; 田所 諭 神戸大学, 工学部, 助教授 (40171730)
• Keywords: LIGA / 微細構造 / 能動膜 / アクチュエータ / 人工皮膚

Research Abstract

この研究は、LIGA(高輝度光リソグラフィ)微細加工技術と高分子材コーティング技術によって、金属(Niを予定)微細構造を芯組成として持つ、厚さ数百μmの比較的厚い高分子材被服能動膜の生成とその駆動(能動)特性を明らかにすることを目的としている。
平成10年度は、次の(1)〜(4)の課題を解決することを目標として研究を行った。それぞれの課題に対する研究成果は以下に示すとおりである。
(1) 芯組成微細構造の形状設計と駆動機能のシミュレーション:
微細構造の1メッシュ要素について、出力仕事(力×変位)が最大となる形状とバネ定数を求め、その動的挙動に関するシミュレーションプログラムを開発した。(2) LIGAによる微細構造生成プロセスの設計:
成膜、メッキプロセス、マスクアライメント、露光制御等、微細構造生成プロセスにおける各工程および全工程の詳細設計のための調査研究を行い、それに基づいてプロセス設計を終了した。
(3) マスク設計と電子線描画装置用データの生成:
プロセス設計結果に基づき、マスク設計と電子線描画装置用データの生成を終了し、それに基づき、LIGAマスクの作成と電力供給部作成のための光学マスクの作成を終了した。各部の誤差は、±3μmであった。
(4) LIGAによる微細構造の試作:
これについては、ニュースバルの光源の調整が遅れているため、微細構造の試作のための光照射待ちの状況にある。