LIGAによる微細構造能動膜の生成とその駆動特性の解明

1999 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 10450099
• Research Institution: Kobe University
• Principal Investigator: 高森 年 神戸大学, 工学部, 教授 (10031098)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 山崎 義治 神戸大学, 工学部, 教務職員(教育職) (90174648) ; 服部 元史 神戸大学, 工学部, 助手 (00252792) ; 田所 諭 神戸大学, 工学部, 助教授 (40171730) ; 大坪 義一 近畿大学, 理工学部, 助手 (90257973) ; 山本 昌彦 近畿大学, 理工学部, 教授 (00200840)
• Keywords: 微細能動膜 / LIGA / マイクロアクチュエータ / 人工皮膚 / ロボット

Research Abstract

シンクロトロン放射光装置ニュースバルの高輝度X線露光調整作業の失敗により、未だに所要のエネルギーをもった光の放射に至らず、最悪の状況下で研究を進めざる得なかったことは極めて遺憾であった。従って、本年度はLIGAプロセスにおける露光後の処理を重点課題として研究を進めた。
(1)LIGAによる微細構造の試作
ニュースバル立ち上げの大幅な遅れのため、高輝度X線露光に至らなかった。LIGA用マスクと薄膜リソグラフ用マスクを完成させた。約60〜70℃で数十時間の現像・Niメッキに耐えられるガラス基盤へのPMMA接合の新技法の開発と100μmΦで穴開けされたPMMA版(擬似LIGAプロセス)の接合とNiメッキの実行により、メッキの条件出しをした。
(2)微細構造の静電力駆動実験と考察
微細構造膜の代替としてミリサイズ構造膜を別に製作し、高電圧駆動部とコンデンサ型変位センサ部とを組み込んだ回路により静電力駆動実験を行い、電圧条件・膜の減衰特性を求めた。その結果、このタイプの能動膜は減衰特性が問題となることを明らかにした。
(3)高分子材コーティング
金属の網材を擬似微細能動膜と想定し、液体シリコンをコーティングするための実験を行っている。手法としては、スピナー法と糊付け法を候補とし、考察を行っている。
(4)高分子材被服能動膜の駆動実験考察
実験と考察を実施するに至っていない。
以上のような状況であるため、遺憾ながら研究発表が遅れているが、現在、PMMA接合と駆動実験の成果に対し投稿準備中である。