1998 Fiscal Year Annual Research Report
プラズマ環境SPMの開発と固体-プラズマ界面ナノスコピック構造研究への応用
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10450231
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (30176911)
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| Keywords | プラズマ環境 / SPM / 固体-プラズマ界面 / ナノスコピック構造 / HOPG / プラズマ |
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| Research Abstract |
本研究は、世界に先駆け、
(1) 低圧プラズマ環境中で作動する走査プローブ顕微鏡(SPM:scanning probe microscope)の開発、具体的には走査式トンネル顕微鏡/分光(STM/STS)および近接場光顕微鏡(SNOM)の開発。
(2)その“固体-プラズマ界面構造のナノスケール研究"への応用。を目指すものであり、今年度の研究実績は以下の通りである。
(A) プラズマ環境中で作動する走査式トンネル顕微鏡/分光装置の開発
従来の装置を踏まえ、物性研究用のプラズマ環境中で作動する走査式トンネル顕微鏡/分光(プラズマSTM/STS)の開発を行った。特に、STS測定モードを新たに付け加えるため、プラズマからのプラズマポテンシャル、電流ノイズ対策もかねた、耐高圧低ノイズ用計測回路への変更を行うとともに、プラズマによるピエゾ系への影響(径時変化)の低減を目指し、ピエゾパートの構造を新たに設計した。
(B) プラズマ-材料固体表面ナノスケールその場観察上記のプラズマSTM/STSを用い、HOPGおよびSrTiO_3の動的・静的ナノ構造解析/電子状態計測を行い装置動作の安定化を達成した。
(C) プラズマ環境STM/SNOM同時計測装置の開発
先端部に伝導性膜を蒸着した光ファイバープローブによりSTM/SNOM同時計測可能な装置の試作を開始した。
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[Publications] K.Terashima: "HIGH RATE DEPOSITION OF THICK EPITAXIAL FILMS BY THERMAL PLASMA FLASH DEPOSITION" Pure and Applied Chemistry. 70・6. 1193-1197 (1998)
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[Publications] Y.Takamura: "HIGH RATE DEPOSITION of YBCO films BY HOT CLUSTER EPITAXY" J.Appl.Phys.84・9. 5084-5088 (1998)
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[Publications] N.Yamaguchi: "Scanning tunreling microscopy of YBCO clusters deposited by plasma flash method" J.Mater.Sci.Lett.17. 2067-2069 (1998)
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[Publications] K.Terashima: "Scanning tuneling microscopy operating under a plama environment" Thin Solid Films. (印刷中). (1999)
