1999 Fiscal Year Annual Research Report
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10554012
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| Research Institution | Utsunomiya University |
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Principal Investigator |
中井 俊一 宇都宮大学, 工学部, 教授 (70081429)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
斎藤 啓一 株式会社 東芝, 電子デバイス事業部, 主務
柏倉 隆之 宇都宮大学, 工学部, 助手 (90261817)
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| Keywords | 軟X線分光器 / X線結晶分光器 / 位置敏感型検出器 / 軟X線単色計 / X線モノクロメータ / 軟X線分光法 |
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| Research Abstract |
1.製作した分光器の性能テスト
(1)超高真空試料室(チェンパーA)及び分光結晶室(チェンパーB)の真空テストを行い、所定の性能を確認した。
(2)パルスモーターを用いて、分光結晶のθ-2θ回転及び検出器位置設定を行うための直線移動システムを作り上げ、その駆動テストを行った。
2.軟X線位置敏感型検出器の開発
(1)抵抗心線型一次元検出器の開発を行った。抵抗心線として、直径7μφのカーボンファイバーを用いた。
(2)バックギャモン型一次元検出器の開発を行った。シリコンウェハー上にジグザグパターンを焼付け金蒸着を行った。パターン間の間隔は50μとした。
3.現在の進行状況
現在、開発した検出器を分光器に取付け、電子線を用いてSi-K発光のスペクトルの測定を行って性能評価を行っている。本研究に関連した学会発表を1999年3月の日本物理学会年会(広島大学)及び、1999年8月のX-ray and Inner-shell Processes第18回国際会議(シカゴ)にて行った。来年度は本研究計画の最終年度であり、完成した分光器をつくばの高エネ研に持ち込み、測定を開始する計画である。
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[Publications] S.Nakai, Y.Megawa, F.Terasaki, Chen Gang, T. Ohuchi, K. Obara, T.Kojima, H.Arai T.Kashiwakura and Y.Kitajima: "Resonant emission spectra of YF_3,Ycl_3,Y_2O_3 and Y-metal in Y Lm absorption region"Phys. Rev. B. 2000年3月15日号. (2000)
