1998 Fiscal Year Annual Research Report
走査型TRAXS(全反射角X線分光法)の開発と,それによる表面動的過程の研究
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10555007
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
長谷川 修司 東京大学, 大学院・理学系研究科, 助教授 (00228446)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
長尾 忠昭 東京大学, 大学院・理学系研究科, 助手 (40267456)
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| Keywords | 全反射角X線分光法 / 走査電子顕微鏡 / 表面組成分析 / 反射高速電子回折 / エネルギー分散型X線検出器 / 走査型反射電子顕微鏡 / エレクトロマイグレーション / サーフアクタント・エピタキシー |
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| Research Abstract |
本研究の目的である、走査型TRAXS装置の完成のため、今年度は以下の研究を行った。
(1) 現有の超高真空走査反射電子顕微鏡(SREM)に、エネルギー分散型X線検出装置(EMAX)を取り付けるため、ベリリウム窓付きゴニオステージ機構を設計・製作して取り付けた。
(2) 当科研費で購入したEMAXを上記ゴニオステージ機構に取り付け、SREM装置と結合させた。
(3) 上記SREM/EMAX結合装置を動作させ、走査電子線を標準試料に照射し、そこから励起・放射されたX線を実際に検出できることを確認し、所期の性能を達成した。
このように、今年度は、当初予定していた装置を完成させることができた。来年度は、これを利用して、表面動的過程の研究を行う予定である。
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[Publications] T.Nagao,K.Tsuchie,S,Hasegawa et al.: "Structural Phase Transitions of Si(111)-(√<3>×√<3>)R30°-Au: phase Transrtions in Domain Wall Configurations" Physical Review B. 57. 10100-10109 (1998)
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[Publications] X.Tong,C.-S.Jiang,S.Hasegawa: "Electronic Structure of the Si(111)-√<21>×√<21>-(Ag+Au) Surface" Physical Review B. 57. 9015-9023 (1998)
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[Publications] S.Takeda,X.Tong,S.Ino,S.Hasegawa: "Structure-Dependent Electrical Conductance Through Jndium Atomic Layers on Si(111) Surface" Surface Science. 415. 264-273 (1998)
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[Publications] X.Tong,Y.Sugiura,T.Nagao,S.Hasegawa,et al.: "STM Observations of Ag adsorption on the Si(111)-√<3>×√<3>-Ag Surface at Low Temperatures." Surface Science. 408. 146-159 (1998)
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[Publications] S.Hasegawa,C.-S.Jieng,Y.Nakajima,T.Nagao: "Surface Electrical Conduction Correlated with Surface Structures and Atom Dynamics" Surface Review and Litters. 5. 803-819 (1998)
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[Publications] T.Nagao,C.Voges,S.Hasegawa et al.: "Diffraction from small antiphase domains: α-√<3>×√<3>,β-√<3>×√<3>,6×6 phases of Au adsorbed Si(111)" Applied Surface Science. 130-132. 47-53 (1998)
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[Publications] 応用物理学会編 長谷川修司他分担執筆: "応用物理用語大事典" オーム社, 1177 (1998)
