走査型TRAXS(全反射角X線分光法)の開発と,それによる表面動的過程の研究

1998 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 10555007
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 長谷川 修司 東京大学, 大学院・理学系研究科, 助教授 (00228446)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 長尾 忠昭 東京大学, 大学院・理学系研究科, 助手 (40267456)
• Keywords: 全反射角X線分光法 / 走査電子顕微鏡 / 表面組成分析 / 反射高速電子回折 / エネルギー分散型X線検出器 / 走査型反射電子顕微鏡 / エレクトロマイグレーション / サーフアクタント・エピタキシー

Research Abstract

本研究の目的である、走査型TRAXS装置の完成のため、今年度は以下の研究を行った。
(1) 現有の超高真空走査反射電子顕微鏡(SREM)に、エネルギー分散型X線検出装置(EMAX)を取り付けるため、ベリリウム窓付きゴニオステージ機構を設計・製作して取り付けた。
(2) 当科研費で購入したEMAXを上記ゴニオステージ機構に取り付け、SREM装置と結合させた。
(3) 上記SREM/EMAX結合装置を動作させ、走査電子線を標準試料に照射し、そこから励起・放射されたX線を実際に検出できることを確認し、所期の性能を達成した。
このように、今年度は、当初予定していた装置を完成させることができた。来年度は、これを利用して、表面動的過程の研究を行う予定である。

Research Products

• [Publications] T.Nagao,K.Tsuchie,S,Hasegawa et al.: "Structural Phase Transitions of Si(111)-(√<3>×√<3>)R30°-Au: phase Transrtions in Domain Wall Configurations" Physical Review B. 57. 10100-10109 (1998)
• [Publications] X.Tong,C.-S.Jiang,S.Hasegawa: "Electronic Structure of the Si(111)-√<21>×√<21>-(Ag+Au) Surface" Physical Review B. 57. 9015-9023 (1998)
• [Publications] S.Takeda,X.Tong,S.Ino,S.Hasegawa: "Structure-Dependent Electrical Conductance Through Jndium Atomic Layers on Si(111) Surface" Surface Science. 415. 264-273 (1998)
• [Publications] X.Tong,Y.Sugiura,T.Nagao,S.Hasegawa,et al.: "STM Observations of Ag adsorption on the Si(111)-√<3>×√<3>-Ag Surface at Low Temperatures." Surface Science. 408. 146-159 (1998)
• [Publications] S.Hasegawa,C.-S.Jieng,Y.Nakajima,T.Nagao: "Surface Electrical Conduction Correlated with Surface Structures and Atom Dynamics" Surface Review and Litters. 5. 803-819 (1998)
• [Publications] T.Nagao,C.Voges,S.Hasegawa et al.: "Diffraction from small antiphase domains: α-√<3>×√<3>,β-√<3>×√<3>,6×6 phases of Au adsorbed Si(111)" Applied Surface Science. 130-132. 47-53 (1998)
• [Publications] 応用物理学会編 長谷川修司他分担執筆: "応用物理用語大事典" オーム社, 1177 (1998)