1999 Fiscal Year Annual Research Report

Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発

Research Project

Project/Area Number	10555041
Research Institution	Kobe University
Principal Investigator	社本英二神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	樋野励神戸大学, 工学部, 助手 (80273762) 柴坂敏郎神戸大学, 大学院・自然科学研究科, 助教授 (80094530) 森脇俊道神戸大学, 工学部, 教授 (00031104) 宇田豊株式会社ニコン, 生産技術本部, 課長(研究職)
Keywords	Walking Drive / 圧電素子 / 超精密位置決め / 送り装置 / XYθテーブル / 高剛性 / 高分解能 / デュアルモード駆動システム
Research Abstract	本研究では,申請者らによって開発されたWalking Drive機構をX,Y,θ3軸に適用し,超精密位置決めおよび送り装置の位置決め精度を,実用的な高速性を維持しながら向上することを試みた. 平成11年度は主として以下の3項目について試作開発研究を行った. (1)レーザフィードバック制御システムの開発試作した超精密XYθテーブルの位置をレーザ干渉測長機により測定し,その値をフィードバックして同時3軸の超精密運動制御を行うシステムを構築した。 (2)超精密高速位置決め実験試作機による超精密高速位置決め実験を行い、その性能の検討を行った。その結果,新しいデュアルモード駆動アルゴリズムによって、従来の手法に比べて大幅に送り速度を向上し得ることが確認された。 (3)試作開発したシステムの総合的な特性評価と実用化への検討新しい送り装置、駆動ソフトウェア、制御システムなど個別に開発した部分について全機能を統合した場合の特性を総合的に検討、評価した。その結果、実用化にむけての大きな障害はなく、今後の課題として,作業者にとって使いやすいインターフェイスを開発することや耐久性試験を行うことが挙げられる。

Research Products
(10 results)

All Other

All Publications (10 results)

[Publications] 社本英二: "楕円振動切削加工法(第2報)-振動条件の影響に関する検討-"精密工学会誌. Vol.65,No.3. 411-417 (1999)
[Publications] 社本英二: "楕円振動切削加工法(第3報)-三次元切削への適用と実用的諸効果の検討"精密工学会誌. Vol.65,No.4. 586-591 (1999)
[Publications] Eiji Shamoto: "Ultraprecision Ductile Cutting of Glass by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting"Proc.of 1st EUSPEN. 408-411 (1999)
[Publications] Eiji Shamoto: "Ultraprecision Diamond Cutting of Hardened Steel by Applying Elliptical Vibration Cutting"Annals of the CIRP. Vol.48/1. 441-444 (1999)
[Publications] Eiji Shamoto: "Ultraprecision 6-Axis Table Driven by Means of Walking Drive"Annals of the CIRP. Vol.49/1(to be published). (2000)
[Publications] 社本英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第1報)-3本足駆動のアルゴリズムと装置-"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 110 (1999)
[Publications] 社本英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第2報)-2本足駆動のアルゴリズムと装置-"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 111 (1999)
[Publications] 社本英二: "主軸回転数変動によるエンドミル加工時の再生型びびり振動の抑制"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 207 (1999)
[Publications] 社本英二: "鋼の超精密楕円振動切削加工"日本機械学会[No.99-2]第1回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集. 179-180 (1999)
[Publications] 社本英二: "超音波楕円振動切削加工法による超精密微細金型加工"1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 182 (1999)

1999 Fiscal Year Annual Research Report

Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発

Principal Investigator

社本 英二 神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146)

Research Products

[Publications] 社本英二: "楕円振動切削加工法(第2報)-振動条件の影響に関する検討-"精密工学会誌. Vol.65,No.3. 411-417 (1999)

[Publications] 社本英二: "楕円振動切削加工法(第3報)-三次元切削への適用と実用的諸効果の検討"精密工学会誌. Vol.65,No.4. 586-591 (1999)

[Publications] Eiji Shamoto: "Ultraprecision Ductile Cutting of Glass by Applying Ultrasonic Elliptical Vibration Cutting"Proc.of 1st EUSPEN. 408-411 (1999)

[Publications] Eiji Shamoto: "Ultraprecision Diamond Cutting of Hardened Steel by Applying Elliptical Vibration Cutting"Annals of the CIRP. Vol.48/1. 441-444 (1999)

[Publications] Eiji Shamoto: "Ultraprecision 6-Axis Table Driven by Means of Walking Drive"Annals of the CIRP. Vol.49/1(to be published). (2000)

[Publications] 社本英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第1報)-3本足駆動のアルゴリズムと装置-"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 110 (1999)

[Publications] 社本英二: "Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第2報)-2本足駆動のアルゴリズムと装置-"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 111 (1999)

[Publications] 社本英二: "主軸回転数変動によるエンドミル加工時の再生型びびり振動の抑制"1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 207 (1999)

[Publications] 社本英二: "鋼の超精密楕円振動切削加工"日本機械学会[No.99-2]第1回生産加工・工作機械部門講演会講演論文集. 179-180 (1999)

[Publications] 社本英二: "超音波楕円振動切削加工法による超精密微細金型加工"1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 182 (1999)

社本英二神戸大学, 工学部, 助教授 (20216146)