気相成長高分子層間絶縁膜を用いたフルカラーELデバイスの開発と実用化

1999 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 10555104
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 森 竜雄 名古屋大学, 工学研究科, 講師 (40230073)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 山下 浩一 新日鉄化学, 電子材料開発センター, 研究員 ; 水谷 照吉 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70023249)
• Keywords: 気相成長高分子 / 層間絶縁 / 多層構造 / フルカラー / 有機EL

Research Abstract

本研究では有機EL素子への気相成長高分子を利用した保護膜の効果と層間絶縁膜として利用したフルカラー構成素子の作成を目指した。気相成長高分子としてポリパラキシレン系材料が知られている。ポリパラキシレン(PPX)は熱CVD法により作成でき、無触媒で重合できる材料である。PPXの誘導体として、ポリパラキシレンのフェニレン基の水素を塩素に一置換したポリクロロパラキシレン(PCPX)、二置換したポリジクロロパラキシレン(PDPX)が比較的容易に入手できる。本研究では耐熱性に優れるPPXと低透過率のPCPXの二つを用いて研究を行った。
本年度は熱CVD膜の保護膜としての有用性を確認した。またスパツタ法を利用した透明電極を作成するプロセスが素子に影響を与えないことを確認した。多層積層型三色発光素子を作成し、その発光現象を確認した。この成果は新しいフルカラーデバイスの形成法として本手法が利用できることを示唆する。

Research Products

• [Publications] 山下浩一 森竜雄 水谷照吉: "有機電解発光素子における熱CVD薄膜の保護膜と層間絶縁膜への応用"電学論. 118-A. 1418-1424 (1998)
• [Publications] K.Yamashita, K.Imaizumi, T.Mori, T Mizutani: "BL Behavior of Stylyl Compounds with Benzoxazole and Benzothiazole for Organic Light-Emitting-Diode"Mat. Res. Soc. Sym. Proc.. 561. 173-178 (1999)