1999 Fiscal Year Annual Research Report
ミラー磁界型同軸ECRプラズマによる細管内壁コーティング法に関する研究
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10558066
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| Research Institution | NAGASAKI UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
藤山 寛 長崎大学, 工学部, 教授 (20112310)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
桑原 創 日新電機株式会社, 知的財産部, 部長
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| Keywords | ECRプラズマ / ミラー磁界 / スパッタリング / 細管コーティング / インナーコーティング |
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| Research Abstract |
平成10年度に設計・試作したミラー磁界型同軸ECRプラズマ装置(長さ約3m)内にアルゴンガスを導入し、マイクロ波入射口から2m離れた細管内のECR共鳴点でのプラズマ生成を実証した.このときの生成条件はリアクタ内気圧5×10^<-6>Torr(細管内推定気圧5×10^<-5>Torr)でマイクロ波入射電力120Wであり、ミラー磁界の効果により超低気圧低電力プラズマ生成が実現された.また同時にミラー磁界の軸方向走査(コンピュータ制御)によるプラズマの軸方向移動も確認できた.マイクロ波入反射特性からプラズマ吸収電力を実測し、さらにコイル間距離を変えて最適成膜条件を調べた.
この最適条件をベースに、アルゴン/窒素混合ガスをリアクタ内に導入し、2m先での窒化チタン薄膜形成が可能であることを示した.
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