1998 Fiscal Year Annual Research Report
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10650052
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
長 康雄 東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (40179966)
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| Keywords | 誘電率温度係数 / 走査型電子線誘電率顕微鏡 / SEM / 光熱誘電率顕微鏡 |
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| Research Abstract |
本年度は以下のような成果があった.
本研究者が発明した光熱誘電率顕微鏡は誘電体中のミクロな誘電率温度係数分布を読みとることができる初めての装置である.しかも最近の研究で分解能も光で読みとれる限界の1μmφ程度まで向上してきている.そこで,このプローブ光を電子線に変え一気に走査型電子顕微鏡(SEM)の分解能と同程度の分解能で誘電率温度係数分布及び熱の流れの分布を計測できる走査型電子線誘電率顕微鏡を開発した.
その為に,まず熱拡散長を極限的に短くするために非常に高い周波数で断続した電子線による微小領域の誘電率変化を高感度で検出するためのマイクロ波発振器の開発およびその復調系の開発を行った.また,総ての機器をコントロールし,顕微鏡システムとして有機的に統合制御するソフトウエアーの開発も行った.その結果,本顕微鏡は材料の組成分析と誘電率温度係数計測及びSEMによる形状の同時観察が高分解能に行える顕微鏡となった.
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