1998 Fiscal Year Annual Research Report
超LSI製造用ガスフローメーターステンレス細管内壁の超精密研磨
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10650110
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| Research Institution | Kanazawa University |
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Principal Investigator |
黒部 利次 金沢大学, 工学部, 教授 (60019742)
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| Keywords | 極細管 / スラリー / 高速流動研磨 / 内壁面研磨 |
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| Research Abstract |
内径1mm以下の極細ステンレス鋼管の内壁面を精密に研磨するために,スラリーの高速流動研磨法を創案し,実験装置の検討を行なった.装置は,長尺の極細管の内壁研磨に対応でき,かつ,管の左右端に対してスラリーを往復動させることが可能で,実験中スラリーが漏洩しない構造であること,等に留意して設計を行なった.設計図を書き装置の製作を行なった.途中諸種の不具合が生じたが,工夫を凝らしてその都度改善を図った.その結果,装置は所期の研磨性能を有することが明らかになった.
内径0.28mmのステンレス鋼管細管の内壁面の研磨を試みた結果,パス回数(スラリーの管内通過数)を増すにつれて素管内壁面の面粗さが次第に低減していくことがわかった.低減の度合は数パス回数の所で多く,その後漸減状態となる.また,砥粒が細粒よりも粗粒の方が面粗さの低減に効果があることがわかった.SEM観察の結果,素管内壁面に見られるテクスチャー(微細な凹凸模様)はパス回数とともに次第に消滅していくことがわかった.内壁面は平滑化されていく.管内を流れるスラリーは乱流となっており,相当の運動エネルギーを持った砥粒が壁面に衝突・引っかき作用を営むことによって面粗さが改善されるものと推察される.
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