1999 Fiscal Year Annual Research Report
超LSI製造用ガスフローメーターステンレス細管内壁の超精密研磨
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10650110
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| Research Institution | Kanazawa University |
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Principal Investigator |
黒部 利次 金沢大学, 工学部, 教授 (60019742)
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| Keywords | 極細管 / スラリー / 高速流動研磨 / 内壁面研磨 |
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| Research Abstract |
内径1mm以下極細ステンレス鋼管の内壁面を精密に研磨するために,スラリーの高速流動研磨法を創案し,本研磨法について実験的検討を行った.設計・制作した実験装置は,長尺の極細管の内壁研磨に対応でき,かつ,管の左右端に対してスラリーを往復運動させることが可能な構造である.
管径の異なるステンレス鋼管細管(内径0.28,0.4,0.6mm)の内壁面の研磨を試みた結果,パス回数(スラリーの管内通過数)を増すにつれて素管内壁面の面粗さが次第に低減していくことがわかった.低減の度合は数パス回数の所で多く,その後漸減状態となって飽和する.また,砥粒が細粒よりも粗粒の方が面粗さの低減に効果があることがわかった.粗粒による研磨において粗さが飽和した時点で,スラリーを細粒そのものに交換し,継続して研磨を行うことによって,さらに粗さが低減することができた.
研磨後の細管に一定流量の窒素ガスを流し,その時の差圧を測定した.差圧と粗さとの間に密接な関係があり,両者間に成立する実験式が見いだされた.SEM観察の結果、素管内壁面に見られるテクスチャー(微細な凹凸模様)はパス回数とともに次第に消滅していくことがわかった.内壁面は平滑化されていく.管内を流れるスラリーは乱流となっており,相当の運動エネルギーを持った砥粒が壁面に衝突・引っかき作用を営むことによって面粗さが改善されるものと推察される.
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Research Products
(3 results)
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[Publications] Toshiji KUROBE: "Development of High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary"Proc. Int. Symposium on Advances in Abrasive Technology. 179-182 (1998)
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[Publications] 黒部利次 他: "極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨 -表面粗さ低減における二段階研磨の効果-"砥粒加工学会誌. 43・4. 32-37 (1999)
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[Publications] T. KUROBE et al.: "High Speed Slurry Flow Finishing of Inner Wall of Stainless Steel Capillary-Effects of Slurry Injection Pressure on Polishing Performance"Int. J. Japan Soc. Prec. Eng.. 33・4. (1999)
