1998 Fiscal Year Annual Research Report
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10650121
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| Research Institution | Keio University |
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Principal Investigator |
三井 公之 慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (90219668)
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| Keywords | 測定 / 精度 / マイクロ部品 / 圧電素子 / 放電加工 |
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| Research Abstract |
リニアスケールを内蔵する高精度微動ステージを計算機により制御して,マイクロ部品の形状を測定するための装置を試作した.探針の位置制御には高精度かつ高速な運動が求められるために,圧電素子を使用した.微動ステージ上に探針を取り付けた圧電素子を搭載し,測定対象と探針との接近によるトンネル電流を検出した時点での微動ステージの位置をリニアエンコーダの出力により検出するとともに,探針の測定対象への衝突を回避するように圧電素子の伸び量を制御する.このためパーソナルコンピュータよりの指令を基にして,圧電素子を急速に伸張,収縮するための電子回路を製作している.
本年度においては,測定装置全体の構成についての検討に基ずき,微動ステージと山転ステージを組み合わせて装置を試作した.微動ステージの運動精度等の基本特性の評価を行うとともに,数種類の微細な部品を対象とした測定実験を行い,微細な穴の直径,真円度,深さ方向の形状の測定,段差の形状測定等の結果を示した.この測定により,微小部品における直角度や平行度などの各種幾何偏差の評価にも本測定装置を有効に利用できることを確認した.
また,微紬な形状の三次元的測定には探針の製作が非常に要素となる.
このため,マイクロ型彫り放電加工により,X型およびX-Z型探針を一括して製作することを試みた.所望する探針の先端角度と半径を得るために必要な,工具電極の形状と探針の形状との関係についての定量的なデータを蓄積した.
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Research Products
(1 results)
