1998 Fiscal Year Annual Research Report
高ねじれ角はすば歯車の歯面形状精度の斜入射レーザ干渉法による非接触測定
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10650143
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
藤尾 博重 京都大学, 工学研究科, 助教授 (90026097)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
久保 愛三 京都大学, 工学研究科, 教授 (10027899)
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| Keywords | 斜入射干渉法 / レーザ / はすば歯車 / ねじれ角 / 干渉縞像 / 光学系設定誤差 / 歯面形状偏差 / ベストフィット法 |
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| Research Abstract |
1. これまで用いてきた干渉計測機を用いた場合に,種々の諸元をもつはすば歯車歯面の測定可能領域を求めるプログラムを作成した.その際,測定対象歯面を干渉測定機上のどのような位置に設定すればよいかを決定し,それらの各設定位置に対しての測定領域の接続により,それが歯面全体をカバー可能な限界明らかにした.
2. 干渉測定機での各光学要素の設定誤差は避け難く,それが存在する場合,干渉縞像とインボリュートへリコイドに対するシミュレーション像とのあいだには輪郭形状の不一致が生じる.そのため,本研究では,従来考慮されなかったパラメータを導入した解析を行い,いわゆるベストフィット法を適用して高い精度での両画像の形状の一致をみた.これにより干渉縞像上の位置と歯面上の位置の対応をはかることを可能とした.
3. 従来見落とされてきた干渉測定機上における基準歯面と測定対象歯面の位置設定に関して,それらの間に多少の誤差があっても形状偏差を求めうる手法を開発した.これにより,測定対象歯面の位置設定をわずかづつ変化させて,複数の干渉縞像の輝度データを取り込む従来の方法での手間の軽減が可能となった.
4. 現在用いている干渉測定機では,歯車軸と物体光の平行度がかなりずれており,そのずれがどの程度のものであるかを調べる手段をもっていなかった.しかし,本研究で製作したL字形ミラーにより,その平行度を測る方法をみつけた.また,簡単な干渉計を別に組立て,同様のT字形ミラーを用いることにより,それが,物体光,歯車軸の方向を一致させた高い精度の干渉測定機であること実験的に検証した.これにより次年度に行う予定である,測定領域を替えることによる干渉縞像データより歯面全体の形状誤差の形成可能とする実験準備が整いつつある.
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