1998 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロマテリアルの機械的特性制御(面内及び厚さ方向傾斜薄膜材料の創製)
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10650258
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
小寺 秀俊 京都大学, 工学研究科, 助教授 (20252471)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鷲津 正夫 京都大学, 工学研究科, 教授 (10201162)
島 進 京都大学, 工学研究科, 教授 (70026160)
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| Keywords | MEMS / 機械的特性 / 引張り試験 / AES / Dynamic Response / FEM / 解析 / 拡散 |
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| Research Abstract |
本研究の目的は「マイクロマシン及びマイクロデバイスの構造材料としての簿膜材料の機械的特性の制御の実現」である。研究において、膜構造と機械的性質の関係を解明し、面内・厚さ方向の傾斜材料を創出する基礎とする。これにより新たな、マイクロマシンの可能性を生むことが可能にする。
第10年度においては、スパッタ装置(現有)を用いて単一層膜及び2層膜を作成し、薄膜内部の構造分析(拡散層の厚さ及びその組成と膜内部の残留応力分布等)をAESを用いて分析するとともに、マイクロ引っ張り試験装置を開発するとともに引っ張り試験片を作成し弾性定数の測定を行った。その際、成膜条件による影響につしても検討した。
膜の変形特性に関しては、上記の静的な変形特性のみならず、動的な変形特性についても実験的に求めた。また、薄膜の動的挙動解析理論を開発し、それによる解析の結果、薄膜の動的挙動に及ぼす流体の影響等を明らかにした。
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[Publications] H.Kotera: "A study of the effect of the fabnication process on diffusion in a layered thin film" Microsystem Technologies. 26(in printing). (1999)
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[Publications] H.Kotera: "Dynamic Simulation Method of MEMS Coupling Electrostatic Field,Fluid Dynamics and Membrane Deflection" Microsystem Technologies 98. 491-496 (1998)
