1999 Fiscal Year Annual Research Report
パルスプラズマによるダイヤモンドの低温合成に関する研究
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10750532
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| Research Institution | Chiba Institute of Technology |
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Principal Investigator |
坂本 幸弘 千葉工業大学, 工学部, 講師 (90275959)
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| Keywords | CVD / ダイヤモンド / 低温合成 |
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| Research Abstract |
○パルス発振状態を制御可能なパルスマイクロ波電源を用いたダイヤモンド合成について検討した。
連続波および周波数を変化させたパルスマイクロ波プラズマでダイヤモンド合成を行い、生成物をラマン分光分析により膜質の点から評価した結果、200kHz程度のパルス発振マイクロ波を用いて作製したダイヤモンドは連続波で作製したものと比較して膜質の向上が認められた。
○プラズマ発光分光分析の結果、パルスプラズマからの発光強度は、連続波プラズマの発光強度の3倍程度であり、プラズマ密度の向上が、膜質に影響を及ぼしたと考えられる。
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