2011 Fiscal Year Annual Research Report
極低温および超臨界流体環境でのプラズマ先端材料プロセシング
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10F00385
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
寺嶋 和夫 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 教授
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
PAI David 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 外国人特別研究員
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| Keywords | 極低温 / 超臨界流体 / プラズマ / プラズマ加工 / 材料プロセシング |
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| Research Abstract |
主に超臨界流体(SCF ; supercritical fluid)環境下でのプラズマの発生(表面プラズマ、バルクプラズマ)、診断(発光分光、ラマン分光)、ダイヤモンドイド(ダイヤモンド分子)の合成実験を中心に研究活動を行った。具体的な研究内容として、
(1)分光測定システムの立ち上げ。
(2)超臨界流体CO2の表面プラズマの発生と診断(発光分光、ラマン分光測定)。
(3)大気圧プラズマによるダイヤモンドイド合成。
を主に進めた。
(1)については、従来の発光分光装置、ラマン分光装置の再調整・整備を行い、実験の精度・操作性の向上を目指した。
(2)については、誘電体バリア放電を用いた超臨界流体CO2プラズマ生成において、表面プラズマモードとバルクプラズマモードの2つもモードの存在を発光分光測定から明らかにしてその生成と分光診断を行うと共に、反応場のスケールアップが容易と考えられる表面プラズマモードでのダイヤモンド合成の初期実験を進めた。
(3)については、超臨界流体環境下実験と対照実験となりうる大気圧環境下でのダイヤモドイド合成実験をナノパルス放電で行いその合成に成功すると共にプラズマ診断との相関を求めているものである。
さらに、極低温環境でのプラズマ発生・診断・応用研究においても、主にその極低温環境下での自己組織化パターングのプラズマ診断を行ない、そのぱヤーン形成とプラズマ状態との相関性などを明らかにした。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.
Reason
ほぼ順調に当初計画した研究を進めている。さらには、当初予定していなかった、超臨界流体中での合成実験を行う前段階の実験としての大気圧環境でのダイヤモンドイド(ダイヤモンド分子)の合成実験・合成の成功、極低温下でのプラズマの組織化(パターン形成)実験など、新たな実験、実験成果を挙げている。
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| Strategy for Future Research Activity |
残りのおよそ半年間で、超臨界流体中での実験を進めると共に、極低温環境でのプラズマ発生・診断・プロセス応用にも力を入れていくよう進めていく予定である。
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