分子組織体と電子素子とのインターフェース構築のためのナノファブリケーション

2000 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11167244
• Research Institution: Nagoya University
• Principal Investigator: 杉村 博之 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (10293656)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 井上 泰志 名古屋大学, 工学研究科, 助手 (10252264) ; 高井 治 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (40110712)
• Keywords: 有機薄膜 / 自己組織化単分子膜 / 有機シラン / 真空紫外光 / 微細加工 / リソグラフィ / レジスト / 原子間力顕微鏡

Research Abstract

本年度は下記の2つの研究項目について研究を行った。
(1)分子組織体微細構造の作製とその電気的性質の評価
初年度に開発した真空紫外リソグラフィと選択分子吸着法により、シリコン基板表面に、複数の有機分子組織体からなるマイクロ構造を作製した。走査型プローブ顕微鏡による表面電位測定によって、有機分子組織体のもつ双極子モーメントを局所的に評価した、その結果、モーメントの向きと大きさを、分子組織体を表面修飾することで、μmレベルの空間精度で制御することができることがわかった、
(2)ナノ構造化分子組織体微細構造の作製と評価
初年度および本年度前半の研究成果に基づいて、ナノメートルでの分子組織体構築の研究を行った。既に基礎研究の終えているAFMリソグラフィ技術を用いてナノメートルレベルの微細パターンを形成し、その上に、(1)によって条件等の確立している選択分子吸着法によって、分子組織体のナノ構造体を構築した、最小20nmの微細構造を構築できた。
以上の研究結果により、マイクロメートル〜なのメートルのスケールでの分子組織体の微細構造を作製できるようになった。

Research Products

• [Publications] H.Sugimura 他: "Photo and scanning probe lithography using alkylsilane self-assembled monolayers"Materials Issues and Modeling fro Device Nanofabrication,Materials Research Soceiy Peoceedings. 584. 163-168 (2000)
• [Publications] H.Sugimura 他: "Fabrication of coplaner microstrutures compsed of multiple organosilane self-assembled monolayers"IEICE Trans.Electron.. Vol.E83-C,No.7. 1099-1103 (2000)
• [Publications] H.Sugimura 他: "Surface Potential Images of Microstructured Organosilane Self-Assembled Monolayers Acquired by Kelvin Probe Force Microscopy"Jpn.J.Appl.Phys.. 40(2). L174-L176 (2001)