レーザー照射/AFM加工/電気化学を用いる微細電子・機械デバイスの作製技術の開発

1999 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11355029
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Research Institution: Hokkaido University
• Principal Investigator: 高橋 英明 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70002201)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 相馬 道明 札幌エレクトロプレーティング工業株式会社, 品質管理リーダー(研究職) ; 坂入 正敏 北海道大学, 大学院・工学研究科, 助手 (50280847)
• Keywords: アルミニウム / アノード酸化 / レーザー照射 / AFM加工 / プリント配線基板

Research Abstract

1.アノード酸化/レーザー照射/無電解めっきによるプラスチック射出成型用金型の作成
アノード酸化皮膜の形成、レーザー照射による皮膜の破壊除去および無電解めっきによる局部Ni-P析出により、プラスチック射出成型用金型の試作を試み、次の知見を得た。
a) 純アルミニウムを素地金属に用いた場合には、当初のもくろみ通りの性能を持つ金型の製造が可能である。
b) Al-Mg合金を用いた場合、無電解めっき時間が2時間までは、局部めっきが進行するが、厚膜メッキ層を形成するため2時間をこえて無電解めっきを行うと、レーザー照射部以外にもNi-Pが析出する。
c) この現象は、合金上に形成されたアノード酸化皮膜に数多くの欠陥部が存在し、この欠陥部雅言員となっていると思われる。
d) 現在、この欠陥部を塞ぐためにSiO_2皮膜コーティングを試みている。
2.AFM加工/電気めっきによる微細プリント配線基盤の作成
現在、AFMによりアノード酸化皮膜に覆われたアルミニウムの表面にパターンを形成することを試みており、次の知見を得ている。
a) 空気中で掘削する場合の掘削速度は、蒸留水中での速度とほぼ等しい。
b) 硫酸銅溶液中での掘削速度は、上記雰囲気に比べて2倍速い。

Research Products

• [Publications] S. Z. Chu: "Local Deposition of Ni-P Alloys on Aluminum by Laser Irradiation and Electroless Plating"J. Electrochem. Soc.. 146・2. 537-546 (1999)
• [Publications] S. Z. Chu: "Nucleation of Matals on Aluminum by Laser Irradiation and the Effect on Ni-P Electroless Plating"J. Electrochem. Soc.. 146・8. 2876-2885 (1999)
• [Publications] S. Z. Chu: "Copper Electroless Plating at Selected Areas on Aluminum with Pulsed Nd-YAG Laser"J. Electrochem. Soc.. 147・4. accepted (2000)
• [Publications] 菊地 竜也: "Alのアノード酸化とレーザー題材を利用した金属微細構造の作製"表面技術. 50・8. 697-704 (1999)
• [Publications] 菊地 竜也: "アルミニウムアノード酸化/レーザー照射/電気めっきを用いた微細回路板の作製"表面技術. 50・9. 829-835 (1999)