磁性人工格子をベースに用いたホットエレクトロントランジスタに関する研究

2000 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 11450130
• Research Institution: Daido Institute of Technology
• Principal Investigator: 神保 睦子 大同工業大学, 工学部, 助教授 (00115677)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 藤原 裕司 三重大学, 工学部, 助手 (90301225)
• Keywords: 磁性人工格子 / 巨大磁気抵抗効果 / ホットエレクトロン / トンネル障壁

Research Abstract

本年度ははじめにトンネル障壁の作製法について種々の検討を行った。Al_2O_3を直接スパッタする方法とAlの自然酸化といろいろ条件を変化させて行ったが,その結果真空チャンバー内でのAlの自然酸化がもっとも良好な酸化膜を得られることが分かった。しかし,金属マスクを用いる微細化では素子面積が大きくピンホールの影響により良好なIV特性が得られにくいことが分かり,来年度はフォトリソグラフィとイオンミリングにより微細化を図ろうと考えている。
また,3端子構造の膜を作製し,その磁気特性や電気的特性を測定した。その中で従来と異なった機構により磁界を印加すると大きな電流変化を得ることができ,ベース/コレクタ間の電圧をコントロールすることにより1000%以上の大きな電流変化率が生じることを明らかにした。これは理論的には無限大の変化率を得ることができる。

Research Products

• [Publications] 関田真一: "GMR薄膜を用いたスピンバルブトランジスタの特性"第24回日本応用磁気学会学術講演概要集. 24 (2000)
• [Publications] 神保睦子: "Fe(Pt)Mu/NiFe膜の交換結合と構造に対するPt添加の効果"第24回日本応用磁気学会学術講演概要集. 24 (2000)
• [Publications] 神保睦子: "GHR薄膜を用いたスピンバルブトランジスタのIV特性"日本金属学会講演概要. 127. 55 (2000)
• [Publications] Yuji Fujihara: "large collector current change in spin valve transistor with NiFe/Cu/Co metal base"The 8th Jeint MMM-Intermag Conf.ABSTRACTS. 363 (2001)