2001 Fiscal Year Annual Research Report

炭素系電界放射材料のプラズマ合成とナノエミッション特性

Research Project

Project/Area Number	11450271
Research Institution	Nagoya University
Principal Investigator	杉村博之名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (10293656)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	井上泰志名古屋大学, 環境量子リサイクル研究センター, 助教授 (10252264) 高井治名古屋大学, 工学研究科, 教授 (40110712)
Keywords	ダイヤモンド / 窒素炭素 / ダイヤモンド状炭素 / 電界放射
Research Abstract	ダイヤモンドやカーボンナノチューブのようなプラズマプロセスによって合成される炭素系材料は、その電子親和性の高さから、低スレシホールド電圧・高電流効率の電界電子放射材料としての実用化が期待されている。これまでに、われわれの研究グループでは、窒化炭素、金属添加非晶質炭素、ダイヤモンド薄膜等の炭素系材料のプラズマ合成を行い、その電気・電子的性質を評価してきた。本研究では、これらの炭素系薄膜材料の電界放射特性を評価し、ディスプレイデバイス材料へと応用するための基礎的知見を得ることを目的とする。マクロなレベルから、デバイス化を念頭に置いたμm〜nmスケールでの測定を含めて評価を行い、高効率・低電圧動作・長寿命の電界放射材料の開発を目指した。本年度は、過去2年間の本研究課題によって作製した電界放射電流測定システムを用いて、炭素系薄膜材料の電界電子放出特性を評価した。得られた情報を炭素系薄膜プロセスへとフィードバックし、高効率・低電圧動作・長寿命の薄膜を得るための最適プロセス条件を探索した。また、AFMベースの微小領域電気特性計測システムを用いて、炭素系薄膜の導電性分布特性をミクロなスケールで評価した。

Research Products
(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] H. Sugimura et al.: "Elctron Field Emission from Thin Films of Amorphous CarbonNitride Synthesized by Arc Ion Plating"Thin Solid Films. (印刷中). (2001)
[Publications] H. Sugimura et al.: "Field emission properties of amorphous carbon nitride thin films prepared by arc ion plating"Surface and Coatings Technolog. 142-144. 714-718 (2001)
[Publications] H. Sugimura et al.: "Electron field emission from nitorgen-doped amorphous carbon thin films prepared by arc ion plating"Proceedings of Second International Conference on Processing Materials for Properties. 315-318 (2000)
[Publications] H. Sugimura et al.: "Fabrication of micro diamond array and electrical characterization of individual diamond microcrvstals by scanning probe microscopy"J. Vac. Sci. Technol. B. 17. 1919-1922 (1999)
[Publications] Y. Sakamoto et al.: "Site-selective plasma CVD based on catalytic nucleation enhancemer Fabrication of micro diamond arrays"Diamond and Related Material. 8. 1423-1426 (1999)
[Publications] H. Sugimura et al.: "Characterization of individual diamond crystals in micro diamond amusing an AFM-based technique"Appl. Surf. Sci.. 144-145. 593-597 (1999)

2001 Fiscal Year Annual Research Report

炭素系電界放射材料のプラズマ合成とナノエミッション特性

Principal Investigator

杉村 博之 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (10293656)

Research Products

[Publications] H. Sugimura et al.: "Elctron Field Emission from Thin Films of Amorphous CarbonNitride Synthesized by Arc Ion Plating"Thin Solid Films. (印刷中). (2001)

[Publications] H. Sugimura et al.: "Field emission properties of amorphous carbon nitride thin films prepared by arc ion plating"Surface and Coatings Technolog. 142-144. 714-718 (2001)

[Publications] H. Sugimura et al.: "Electron field emission from nitorgen-doped amorphous carbon thin films prepared by arc ion plating"Proceedings of Second International Conference on Processing Materials for Properties. 315-318 (2000)

[Publications] H. Sugimura et al.: "Fabrication of micro diamond array and electrical characterization of individual diamond microcrvstals by scanning probe microscopy"J. Vac. Sci. Technol. B. 17. 1919-1922 (1999)

[Publications] Y. Sakamoto et al.: "Site-selective plasma CVD based on catalytic nucleation enhancemer Fabrication of micro diamond arrays"Diamond and Related Material. 8. 1423-1426 (1999)

[Publications] H. Sugimura et al.: "Characterization of individual diamond crystals in micro diamond amusing an AFM-based technique"Appl. Surf. Sci.. 144-145. 593-597 (1999)

杉村博之名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (10293656)