1999 Fiscal Year Annual Research Report

ゾル-ゲル法による透明厚膜の作製と微細加工プロセスへの応用

Research Project

Project/Area Number	11555239
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Research Institution	Osaka Prefecture University
Principal Investigator	南努大阪府立大学, 工学部, 教授 (80081313)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	松田厚範大阪府立大学, 工学部, 助手 (70295723) 忠永清治大阪府立大学, 工学部, 助手 (90244657) 辰巳砂昌弘大阪府立大学, 工学部, 教授 (50137238) 前田浩一日本板硝子株式会社, 技術研究所, センター長
Keywords	ゾル-ゲル法 / 透明 / 厚膜 / 微細パターン / 有機-無機複合 / 微粒子 / 光硬化 / 撥水-親水
Research Abstract	本研究は、ゾル-ゲル法による薄膜作製技術や電気泳動電着厚膜作製技術をベースにして、微小光学素子等に応用可能な透明厚膜材料を探索し、その作製技術を開発すること、および透明厚膜に微細形状を付与する新規なパターニングプロセスを確立することを目的としている。本年度は、以下の研究成果を得た。 1.ゾル-ゲル厚膜材料開発ベンジルトリエトキシシランを出発原料に用いて作製した有機-無機複合微粒子が熱処理によって融着を起こすことを見出した。この特性を生かして、電気泳動電着法により作製した厚膜を熱処理を行うことにより透明化することに成功した。また、フェニルトリエトキシシランから作製した微粒子との物性の比較評価を行った。 2.ゾル-ゲル厚膜材料のキャラクタリゼーションメチル-フェニルシルセスキオキサン系複合厚膜のクラックなしに形成できる最大膜厚と熱処理温度の関係を調べた。メチル基とフェニル基の割合が1:1の付近で最大膜厚が大きくなることが分かった。型プレスにより微細パターン形成条件だしを行った。 3.ゾル-ゲル微細加工プロセスの確立シリカゲル/熱可塑性エラストマーの熱機械特性評価を行った。、一軸プレスによる複合体ペレットの成形条件だしを行った。表面の濡れ性の差を利用して、コロイダルシリカ/有機高分子透明複合体の膨らみパターン形成を行った。 4.ゾル-ゲル微小光学素子の仕様設計ゾル-ゲル微小光学素子作製のためのスタンパの材質や仕様を仮決定した。マイクロレンズアレイ、光導波路などの試作とSEM、AFMによる形状を評価を行った。

Research Products
(4 results)

All Other

All Publications (4 results)

[Publications] K. Azuta: "Water and Oxygen Permeability of silica Thin Films Containing Organic Polymers Coated on PET Substrate by the Sol-Gel Method"J. Ceram. Soc. Jpn.. 107・[3]. 293-296 (1999)
[Publications] K. Hasegawa: "Preparation of Trick Films by Electrophoretic Deposition Using Surface Modified Silica Particles Derived from Sol-Gel Method"J. Sol-Gel Sci. Tech.. 15・[3]. 243-249 (1999)
[Publications] A. Matsuda: "Application of Composites Composed of Phosphoric Acid-Doped Silica Gel and Styrene-Ethylene-Buthylene-Styrene Elastomer to Electric Double-Layer Capacitors"Korean J. Ceramics. 5・[4]. 353-356 (1999)
[Publications] K. Hirata: "Preparation and Characterization of Highly Proton-Conductive Composites Composed of SiO_2-P_2O_5 Gel and Styrene-Ethylene-Buthylene-Styrene Elastomer"J. Sol-Gel Sci. Tech.. 17・[1]. 61-69 (2000)

1999 Fiscal Year Annual Research Report

ゾル-ゲル法による透明厚膜の作製と微細加工プロセスへの応用

Principal Investigator

南 努 大阪府立大学, 工学部, 教授 (80081313)

Research Products

[Publications] K. Azuta: "Water and Oxygen Permeability of silica Thin Films Containing Organic Polymers Coated on PET Substrate by the Sol-Gel Method"J. Ceram. Soc. Jpn.. 107・[3]. 293-296 (1999)

[Publications] K. Hasegawa: "Preparation of Trick Films by Electrophoretic Deposition Using Surface Modified Silica Particles Derived from Sol-Gel Method"J. Sol-Gel Sci. Tech.. 15・[3]. 243-249 (1999)

[Publications] A. Matsuda: "Application of Composites Composed of Phosphoric Acid-Doped Silica Gel and Styrene-Ethylene-Buthylene-Styrene Elastomer to Electric Double-Layer Capacitors"Korean J. Ceramics. 5・[4]. 353-356 (1999)

[Publications] K. Hirata: "Preparation and Characterization of Highly Proton-Conductive Composites Composed of SiO_2-P_2O_5 Gel and Styrene-Ethylene-Buthylene-Styrene Elastomer"J. Sol-Gel Sci. Tech.. 17・[1]. 61-69 (2000)

南努大阪府立大学, 工学部, 教授 (80081313)